Agbara VETỌkọ oju omi graphite PECVD fun awọn sẹẹli oorun jẹ ohun elo mojuto ti a ṣe apẹrẹ fun ilana PECVD (ilọsiwaju ifasilẹ oru kemikali pilasima) ti awọn sẹẹli oorun. Ọkọ oju-omi graphite jẹ ti graphite isostatic mimọ-giga pẹlu porosity ti o kere ju 15% ati aibikita dada ti Ra≤1.6μm. O ni awọn ohun-ini ti o dara julọ gẹgẹbi iwọn otutu giga, resistance ipata, ati iduroṣinṣin iwọn. Iduroṣinṣin onisẹpo ti o dara julọ ati adaṣe igbona ṣe idaniloju ifisilẹ fiimu aṣọ ati mu ilọsiwaju batiri ṣiṣẹ. O le pese agbẹru iduroṣinṣin ni iwọn otutu ti o ga ati agbegbe PECVD ti o ga julọ lati rii daju ifasilẹ aṣọ ati didara giga ti awọn fiimu sẹẹli oorun.
Ohun elo graphite lati SGL:
| Aṣoju paramita: R6510 | |||
| Atọka | Igbeyewo bošewa | Iye | Ẹyọ |
| Apapọ ọkà iwọn | ISO 13320 | 10 | μm |
| Olopobobo iwuwo | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| Ṣii porosity | DIN66133 | 10 | % |
| Iwọn pore alabọde | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Igbalaaye | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
| Rockwell líle HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Specific itanna resistivity | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Agbara Flexural | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Agbara titẹ | DIN 51910 | 130 | MPa |
| modulus ọdọ | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| Imugboroosi gbona (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| Imudara igbona (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
O jẹ apẹrẹ pataki fun iṣelọpọ iṣelọpọ oorun ti o ga, ti n ṣe atilẹyin sisẹ wafer titobi G12 nla. Apẹrẹ ti ngbe iṣapeye pọ si ilọjade pọsi, ṣiṣe awọn oṣuwọn ikore ti o ga julọ ati awọn idiyele iṣelọpọ kekere.
| Nkan | Iru | Nọmba wafer ti ngbe |
| PEVCD Grephite ọkọ - The 156 jara | 156-13 grephite ọkọ | 144 |
| 156-19 grephite ọkọ | 216 | |
| 156-21 grephite ọkọ | 240 | |
| 156-23 lẹẹdi ọkọ | 308 | |
| PEVCD Grephite ọkọ - The 125 jara | 125-15 grephite ọkọ | 196 |
| 125-19 grephite ọkọ | 252 | |
| 125-21 grphite ọkọ | 280 |
