Silicon carbide (SiC) jẹ ohun elo semikondokito tuntun kan. Ohun alumọni carbide ni o ni kan ti o tobi iye aafo (nipa 3 igba ohun alumọni), ga lominu ni aaye agbara (nipa 10 igba ohun alumọni), ga gbona iba ina elekitiriki (to 3 igba ohun alumọni). O jẹ ohun elo semikondokito pataki ti iran atẹle. Awọn ideri SiC jẹ lilo pupọ ni ile-iṣẹ semikondokito ati awọn fọtovoltaics oorun. Ni pato, awọn alailagbara ti a lo ninu idagbasoke epitaxial ti Awọn LED ati Si ẹyọ-ẹyọ gara ti o nilo lilo ti ibora SiC. Nitori aṣa igbega ti o lagbara ti awọn LED ni ina ati ile-iṣẹ ifihan, ati idagbasoke agbara ti ile-iṣẹ semikondokito,Ọja ti a bo SiCasesewa dara pupọ.
OKO IBEERE
Iwa mimọ, Eto SEM, itupalẹ sisanra tiSiC ti a bo
Iwa mimọ ti awọn aṣọ SiC lori graphite nipa lilo CVD jẹ giga bi 99.9995%. Ilana rẹ jẹ fcc. Awọn fiimu SiC ti a bo lori graphite jẹ (111) ti o wa ni iṣalaye bi o ṣe han ninu data XRD (Fig.1) ti o nfihan didara okuta giga rẹ. Awọn sisanra ti fiimu SiC jẹ aṣọ pupọ bi o ṣe han ni aworan 2.
Aworan 2: aṣọ sisanra ti awọn fiimu SiC SEM ati XRD ti fiimu beta-SiC lori lẹẹdi
Awọn data SEM ti CVD SiC tinrin fiimu, iwọn gara jẹ 2 ~ 1 Opm
Ilana gara ti fiimu CVD SiC jẹ eto onigun ti o dojukọ oju, ati iṣalaye idagbasoke fiimu ti sunmọ 100%
Silikoni carbide (SiC) ti a boipilẹ jẹ ipilẹ ti o dara julọ fun ohun alumọni gara ẹyọkan ati GaN epitaxy, eyiti o jẹ paati akọkọ ti ileru apọju. Ipilẹ jẹ ẹya ẹrọ iṣelọpọ bọtini fun ohun alumọni monocrystalline fun awọn iyika iṣọpọ nla. O ni mimọ to gaju, resistance otutu otutu, resistance ipata, wiwọ afẹfẹ ti o dara ati awọn abuda ohun elo miiran ti o dara julọ.
Ohun elo ọja ati lilo
Ipilẹ ipilẹ graphite fun idagba ohun alumọni silikoni kan ti o yẹ fun awọn ẹrọ Aixtron, ati bẹbẹ lọ sisanra: 90 ~ 150umIwọn ila opin ti crater wafer jẹ 55mm.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹta-14-2022