פאַס סאַסעפּטאָר פֿאַר פליסיק פאַסע עפּיטאַקסי לפּע

פאַס סאַסעפּטאָר פֿאַר פליסיק פאַסע עפּיטאַקסי לפּע

EPI (עפּיטאַקסי)איז אַ קריטיש פּראָצעס אין די מאַנופאַקטורינג פון אַוואַנסירטע סעמיקאַנדאַקטערז. עס ינוואַלווז די דעפּאַזישאַן פון דין לייַערס פון מאַטעריאַל אויף אַ סאַבסטרייט צו שאַפֿן קאָמפּלעקס מיטל סטראַקטשערז. סיק קאָוטאַד גראַפייט פאַס סאַסעפּטאָר פֿאַר עפּי זענען קאַמאַנלי געניצט ווי סאַסעפּטערז אין עפּי רעאַקטאָרס רעכט צו זייער ויסגעצייכנט טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי און קעגנשטעל צו הויך טעמפּעראַטורעס. מיטCVD-SiC קאָוטינג, עס ווערט מער קעגנשטעליק צו קאַנטאַמאַניישאַן, יראָוזשאַן און טערמאַל קלאַפּ. דאָס רעזולטאטן אין אַ מער לעבן פֿאַר די סאַסעפּטאָר און ימפּרוווד פילם קוואַליטעט.

אַדוואַנטאַגעס פון אונדזער פאַס סאַסעפּטאָר פֿאַר פליסיק פאַסע עפּיטאַקסי לפּע:
רידוסט קאַנטאַמאַניישאַן:די ינערט נאַטור פון SiC פּריווענץ ימפּיוראַטיז פון אַדכירינג צו די סאַסעפּטאָר ייבערפלאַך, רידוסינג די ריזיקירן פון קאַנטאַמאַניישאַן פון די דאַפּאַזיטיד פילמס.
געוואקסן יראָוזשאַן קעגנשטעל:סיק איז באטייטיק מער קעגנשטעליק צו יראָוזשאַן ווי קאַנווענשאַנאַל גראַפיטע, וואָס לידינג צו אַ מער לעבן פֿאַר די סאַססעפּטאָר.
ימפּרוווד טערמאַל פעסטקייַט:סיק האט ויסגעצייכנט טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי און קענען וויטסטאַנד הויך טעמפּעראַטורעס אָן באַטייטיק דיסטאָרשאַן.
ימפּרוווד פילם קוואַליטעט:די ימפּרוווד טערמאַל פעסטקייַט און רידוסט קאַנטאַמאַניישאַן רעזולטאַט אין העכער-קוואַליטעט דאַפּאַזיטיד פילמס מיט ימפּרוווד יונאַפאָרמאַטי און גרעב קאָנטראָל.