עפּיטאַקסיאַל עפּי גראַפייט פאַס סאַססעפּטאָר

עפּיטאַקסיאַל עפּי גראַפייט פאַס סאַססעפּטאָר

עפּיטאַקסיאַל עפּי גראַפייט פאַס סאַססעפּטאָראיז אַ ספּעשלי דיזיינד שטיצן און באַהיצונג מיטל געניצט צו האַלטן און היץ סעמיקאַנדאַקטער סאַבסטרייץ בעשאַס מאַנופאַקטורינג פּראַסעסאַז ווי דעפּאָסיטיאָן אָדער עפּיטאַקסי פּראַסעסאַז.

זייַן סטרוקטור כולל טיפּיקלי סילינדריקאַל אָדער אַ ביסל פאַס-שייפּט, ייבערפלאַך פֿעיִקייטן קייפל פּאַקאַץ אָדער פּלאַטפאָרמס פֿאַר פּלייסינג די ווייפערז, קענען זיין האַרט אָדער פּוסט פּלאַן, דיפּענדינג אויף די באַהיצונג אופֿן.

די הויפּט פאַנגקשאַנז פון עפּיטאַקסיאַל פאַס סאַסעפּטאָר:

-סובסטראַטע שטיצן: סיקיורלי האלט קייפל סעמיקאַנדאַקטער ווייפערז;
-היץ מקור: גיט הויך טעמפּעראַטורעס פארלאנגט פֿאַר גראָוט דורך באַהיצונג;
-טעמפּעראַטור יונאַפאָרמאַטי: ינשורז מונדיר באַהיצונג פון סאַבסטרייץ;
-ראָטאַטיאָן: יוזשאַוואַלי ראָוטייץ בעשאַס וווּקס צו פֿאַרבעסערן טעמפּעראַטור און גאַז פאַרשפּרייטונג יונאַפאָרמאַטי.

ארבעטן פּרינציפּ פון עפּי גראַפייט פאַס סאַסעפּטאָר:
- אין די עפּיטאַקסיאַל רעאַקטאָר, די פאַס סאַסעפּטאָר איז העאַטעד צו די פארלאנגט טעמפּעראַטור (טיפּיקלי 1000 ℃-1200 ℃ פֿאַר סיליציום עפּיטאַקסי);
- די פאַס סאַססעפּטאָר ראָוטייץ צו ענשור מונדיר טעמפּעראַטור פאַרשפּרייטונג און גאַז לויפן;
-רעאַקטיאָן גאַסאַז צעלייגנ זיך אין הויך טעמפּעראַטורעס, פאָרמינג עפּיטאַקסיאַל לייַערס אויף די סאַבסטרייט ייבערפלאַך.

אַפּפּליקאַטיאָנס:
- בפֿרט געניצט פֿאַר סיליציום עפּיטאַקסיאַל גראָוט
-אויך אָנווענדלעך פֿאַר עפּיטאַקסי פון אנדערע סעמיקאַנדאַקטער מאַטעריאַלס ווי GaAs, InP, עטק.

VET Energy ניצט הויך ריינקייַט גראַפייט מיט CVD-SiC קאָוטינג צו פאַרבעסערן די כעמישער פעסטקייַט:

די אַדוואַנטידזשיז פון VET ענערגיע עפּיטאַקסיאַל עפּי גראַפייט פאַס סוססעפּטאָר:

- הויך טעמפּעראַטור פעסטקייַט;
- גוט טערמאַל יונאַפאָרמאַטי;
- קענען פּראָצעס קייפל סאַבסטרייץ סיימאַלטייניאַסלי, ימפּרוווינג פּראָדוקציע עפעקטיווקייַט;
- כעמיש ינערט, מיינטיינינג אַ הויך-ריינקייַט וווּקס סוויווע.