4 אינטש גאַן אויף סיק וואַפער

קורץ באַשרייַבונג:

VET Energy ס 4-אינטש GaN אויף SiC ווייפער איז אַ רעוואלוציאנער פּראָדוקט אין די פעלד פון מאַכט עלעקטראָניק. די ווייפער קאַמביינז די ויסגעצייכנט טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי פון סיליציום קאַרבידע (SiC) מיט די הויך מאַכט געדיכטקייַט און נידעריק אָנווער פון גאַליום ניטרידע (GaN), מאכן עס אַן אידעאל ברירה פֿאַר מאכן הויך-אָפטקייַט, הויך-מאַכט דעוויסעס. VET Energy ינשורז די ויסגעצייכנט פאָרשטעלונג און קאָנסיסטענסי פון די ווייפער דורך אַוואַנסירטע MOCVD עפּיטאַקסיאַל טעכנאָלאָגיע.


פּראָדוקט דעטאַל

פּראָדוקט טאַגס

VET Energy ס פּראָדוקט ליניע איז נישט לימיטעד צו GaN אויף SiC ווייפערז. מיר אויך צושטעלן אַ ברייט קייט פון סעמיקאַנדאַקטער סאַבסטרייט מאַטעריאַלס, אַרייַנגערעכנט Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, Sin Substrate, Epi Wafer, אאז"ו ו. אין דערצו, מיר זענען אויך אַקטיוולי דעוועלאָפּינג נייַ ברייט באַנדגאַפּ סעמיקאַנדאַקטער מאַטעריאַלס, אַזאַ ווי Gallium Oxide Ga2O3 און AlN. ווייפער, צו טרעפן די פאָדערונג פון די צוקונפֿט מאַכט עלעקטראָניק אינדוסטריע פֿאַר העכער פאָרשטעלונג דעוויסעס.

VET Energy פּראָווידעס פלעקסאַבאַל קוסטאָמיזאַטיאָן באַדינונגס און קענען קאַסטאַמייז GaN עפּיטאַקסיאַל לייַערס פון פאַרשידענע טהיקנעססעס, פאַרשידענע טייפּס פון דאָפּינג און פאַרשידענע ווייפער סיזעס לויט צו די ספּעציפיש באדערפענישן פון קאַסטאַמערז. אין אַדישאַן, מיר אויך צושטעלן פאַכמאַן טעכניש שטיצן און נאָך-פארקויפונג דינסט צו העלפֿן קאַסטאַמערז געשווינד אַנטוויקלען הויך-פאָרשטעלונג מאַכט עלעקטראָניש דעוויסעס.

第6页-36
第6页-35

וואַפערינג ספּעסאַפאַקיישאַנז

*n-Pm=n-Type Pm-Grade,n-Ps=n-Ps-Grade,Sl=האַלבינסאַלייטינג

נומער

8-אינטש

6-אינטש

4-אינטש

nP

n-פּם

n-פּס

SI

SI

TTV (GBIR)

≤6ום

≤6ום

בויגן (GF3YFCD)-אַבסאָלוט ווערט

≤15μם

≤15μם

≤25μם

≤15μם

וואָרפּ (GF3YFER)

≤25μם

≤25μם

≤40μם

≤25μם

LTV(SBIR) -10mmx10mm

<2μם

וואַפער עדזש

בעוועלינג

ייבערפלאַך ענדיקן

*n-Pm=n-Type Pm-Grade,n-Ps=n-Ps-Grade,Sl=האַלבינסאַלייטינג

נומער

8-אינטש

6-אינטש

4-אינטש

nP

n-פּם

n-פּס

SI

SI

ייבערפלאַך ענדיקן

טאָפּל זייַט אָפּטיש פויליש, סי-פייס קמפּ

SurfaceRoughness

(10ום רענטגענ 10ום) Si-FaceRa≤0.2נם
C-פּנים ראַ≤ 0.5נם

(5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm
C-Face Ra≤0.5nm

ברעג טשיפּס

ניט דערלויבט (לענג און ברייט ≥0.5 מם)

אינדענץ

קיין דערלויבט

סקראַטשיז (סי-פאַסע)

קטי.≤5,קיומיאַלאַטיוו
לענג≤0.5×ווייפער דיאַמעטער

קטי.≤5,קיומיאַלאַטיוו
לענג≤0.5×ווייפער דיאַמעטער

קטי.≤5,קיומיאַלאַטיוו
לענג≤0.5×ווייפער דיאַמעטער

קראַקס

קיין דערלויבט

עדזש יקסקלוזשאַן

3מם

tech_1_2_size
שרייַבער (2)

  • פֿריִער:
  • ווייַטער:

  • ווהאַצאַפּפּ אָנליין שמועסן!