vet-china یقینی بناتا ہے کہ ہر پائیدارسلکان کاربائیڈ ویفر ہینڈلنگ پیڈلبہترین کارکردگی اور استحکام ہے. یہ سلکان کاربائیڈ ویفر ہینڈلنگ پیڈل جدید مینوفیکچرنگ کے عمل کا استعمال کرتا ہے تاکہ اس بات کو یقینی بنایا جا سکے کہ اس کی ساختی استحکام اور فعالیت اعلی درجہ حرارت اور کیمیائی سنکنرن کے ماحول میں برقرار رہے۔ یہ جدید ڈیزائن سیمی کنڈکٹر ویفر ہینڈلنگ کے لیے بہترین معاونت فراہم کرتا ہے، خاص طور پر اعلیٰ درستگی والے خودکار آپریشنز کے لیے۔
SiC کینٹیلیور پیڈلسیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ آلات جیسے آکسیڈیشن فرنس، ڈفیوژن فرنس، اور اینیلنگ فرنس میں استعمال ہونے والا ایک خصوصی جزو ہے، بنیادی استعمال ویفر لوڈنگ اور ان لوڈنگ، اعلی درجہ حرارت کے عمل کے دوران ویفرز کو سپورٹ اور ٹرانسپورٹ کرنے کے لیے ہے۔
عام ڈھانچےکیSiCcاینٹی لیورpaddle: ایک کینٹیلیور ڈھانچہ، ایک سرے پر فکس ہوتا ہے اور دوسرے سرے پر مفت، عام طور پر فلیٹ اور پیڈل جیسا ڈیزائن ہوتا ہے۔
کام کرناpاصولکیSiCcاینٹی لیورpaddle:
کینٹیلیور پیڈل فرنس چیمبر کے اندر اوپر اور نیچے یا آگے پیچھے حرکت کر سکتا ہے، اسے لوڈنگ ایریاز سے پروسیسنگ ایریاز، یا پروسیسنگ ایریاز سے باہر، ہائی ٹمپریچر پروسیسنگ کے دوران ویفرز کو سپورٹ کرنے اور مستحکم کرنے کے لیے استعمال کیا جا سکتا ہے۔
دوبارہ تیار کردہ سلیکون کاربائیڈ کی جسمانی خصوصیات | |
جائیداد | عام قدر |
کام کرنے کا درجہ حرارت (°C) | 1600 ° C (آکسیجن کے ساتھ)، 1700 ° C (ماحول کو کم کرنے والا) |
سی سی مواد | > 99.96% |
مفت سی مواد | <0.1% |
بلک کثافت | 2.60-2.70 گرام/سینٹی میٹر3 |
ظاہری چھلنی | <16% |
کمپریشن کی طاقت | > 600 ایم پی اے |
سرد موڑنے کی طاقت | 80-90 MPa (20°C) |
گرم موڑنے کی طاقت | 90-100 MPa (1400°C) |
حرارتی توسیع @1500°C | 4.70 10-6/°C |
تھرمل چالکتا @1200°C | 23 W/m•K |
لچکدار ماڈیولس | 240 جی پی اے |
تھرمل جھٹکا مزاحمت | بہت اچھا |