اعلی درجے کیSiC کینٹیلیور پیڈلvet-china کی طرف سے تیار کردہ Wafer پروسیسنگ کے لیے سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کے لیے ایک بہترین حل فراہم کرتا ہے۔ یہ کینٹیلیور پیڈل SiC (سلیکون کاربائیڈ) مواد سے بنا ہے، اور اس کی اعلی سختی اور گرمی کی مزاحمت اسے اعلی درجہ حرارت اور سنکنرن ماحول میں بہترین کارکردگی کو برقرار رکھنے کے قابل بناتی ہے۔ کینٹیلیور پیڈل کا ڈیزائن ویفر کو پروسیسنگ کے دوران قابل اعتماد طور پر سہارا دینے کی اجازت دیتا ہے، جس سے ٹکڑے ہونے اور نقصان کے خطرے کو کم کیا جاتا ہے۔
SiC کینٹیلیور پیڈلسیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ آلات جیسے آکسیڈیشن فرنس، ڈفیوژن فرنس، اور اینیلنگ فرنس میں استعمال ہونے والا ایک خصوصی جزو ہے، بنیادی استعمال ویفر لوڈنگ اور ان لوڈنگ، اعلی درجہ حرارت کے عمل کے دوران ویفرز کو سپورٹ اور ٹرانسپورٹ کرنے کے لیے ہے۔
عام ڈھانچےکیSiCcاینٹی لیورpaddle: ایک کینٹیلیور ڈھانچہ، ایک سرے پر فکس ہوتا ہے اور دوسرے سرے پر مفت، عام طور پر فلیٹ اور پیڈل جیسا ڈیزائن ہوتا ہے۔
VET انرجی کوالٹی کی ضمانت کے لیے اعلیٰ طہارت کا دوبارہ سے تیار کردہ سلکان کاربائیڈ مواد استعمال کرتا ہے۔
| دوبارہ تیار کردہ سلیکون کاربائیڈ کی جسمانی خصوصیات | |
| جائیداد | عام قدر |
| کام کرنے کا درجہ حرارت (°C) | 1600 ° C (آکسیجن کے ساتھ)، 1700 ° C (ماحول کو کم کرنے والا) |
| سی سی مواد | > 99.96% |
| مفت سی مواد | <0.1% |
| بلک کثافت | 2.60-2.70 گرام/سینٹی میٹر3 |
| ظاہری چھلنی | <16% |
| کمپریشن کی طاقت | > 600ایم پی اے |
| سرد موڑنے کی طاقت | 80-90 MPa (20°C) |
| گرم موڑنے کی طاقت | 90-100 MPa (1400°C) |
| حرارتی توسیع @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| تھرمل چالکتا @1200°C | 23W/m•K |
| لچکدار ماڈیولس | 240 جی پی اے |
| تھرمل جھٹکا مزاحمت | بہت اچھا |
ویفر پروسیسنگ کے لیے VET Energy کے ایڈوانسڈ SiC Cantilever پیڈل کے فوائد یہ ہیں:
اعلی درجہ حرارت استحکام: 1600 ° C سے اوپر کے ماحول میں قابل استعمال؛
-کم تھرمل توسیع گتانک: جہتی استحکام کو برقرار رکھتا ہے، ویفر وار پیج کے خطرے کو کم کرتا ہے۔
اعلی طہارت: دھاتی آلودگی کا کم خطرہ؛
-کیمیائی جڑتا: سنکنرن مزاحم، مختلف گیس کے ماحول کے لیے موزوں؛
اعلی طاقت اور سختی: لباس مزاحم، طویل سروس کی زندگی؛
اچھی تھرمل چالکتا: یکساں ویفر ہیٹنگ میں مدد کرتا ہے۔
