Vet-Chinaسلیکن کاربائیڈ سیرامککوٹنگ ایک اعلی کارکردگی والی حفاظتی کوٹنگ ہے جو انتہائی سخت اور پہننے سے مزاحم ہوتی ہے۔سلکان کاربائیڈ (SiC)مواد، جو بہترین کیمیائی سنکنرن مزاحمت اور اعلی درجہ حرارت استحکام فراہم کرتا ہے. یہ خصوصیات سیمی کنڈکٹر کی پیداوار میں اہم ہیں، لہذاسلیکن کاربائیڈ سیرامک کوٹنگوسیع پیمانے پر سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ آلات کے اہم اجزاء میں استعمال کیا جاتا ہے.
Vet-China کا مخصوص کردارسلیکن کاربائیڈ سیرامکسیمی کنڈکٹر کی پیداوار میں کوٹنگ مندرجہ ذیل ہے:
سازوسامان کی استحکام میں اضافہ:سلکان کاربائیڈ سیرامک کوٹنگ سلکان کاربائیڈ سیرامک کوٹنگ سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ آلات کے لیے انتہائی اعلیٰ سختی اور لباس مزاحمت کے ساتھ بہترین سطح کا تحفظ فراہم کرتی ہے۔ خاص طور پر اعلی درجہ حرارت اور انتہائی سنکنرن عمل کے ماحول میں، جیسے کیمیائی بخارات جمع کرنے (CVD) اور پلازما اینچنگ، کوٹنگ مؤثر طریقے سے آلات کی سطح کو کیمیائی کٹاؤ یا جسمانی لباس سے نقصان پہنچنے سے روک سکتی ہے، اس طرح اس کی سروس لائف کو نمایاں طور پر بڑھایا جا سکتا ہے۔ سامان اور بار بار تبدیلی اور مرمت کی وجہ سے ڈاؤن ٹائم کو کم کرنا۔
عمل کی پاکیزگی کو بہتر بنائیں:سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کے عمل میں، چھوٹی آلودگی مصنوعات کی خرابیوں کا سبب بن سکتی ہے۔ سلکان کاربائیڈ سیرامک کوٹنگ کی کیمیائی جڑت اسے انتہائی حالات میں مستحکم رہنے دیتی ہے، مواد کو ذرات یا نجاست کو جاری کرنے سے روکتی ہے، اس طرح عمل کی ماحولیاتی پاکیزگی کو یقینی بناتی ہے۔ یہ خاص طور پر مینوفیکچرنگ کے اقدامات کے لیے اہم ہے جن کے لیے اعلیٰ درستگی اور اعلیٰ صفائی کی ضرورت ہوتی ہے، جیسے PECVD اور آئن امپلانٹیشن۔
تھرمل مینجمنٹ کو بہتر بنائیں:ہائی ٹمپریچر سیمی کنڈکٹر پروسیسنگ میں، جیسے ریپڈ تھرمل پروسیسنگ (RTP) اور آکسیڈیشن کے عمل میں، سلکان کاربائیڈ سیرامک کوٹنگ کی اعلی تھرمل چالکتا سامان کے اندر درجہ حرارت کی یکساں تقسیم کو قابل بناتی ہے۔ یہ درجہ حرارت کے اتار چڑھاو کی وجہ سے تھرمل تناؤ اور مواد کی خرابی کو کم کرنے میں مدد کرتا ہے، اس طرح مصنوعات کی تیاری کی درستگی اور مستقل مزاجی کو بہتر بناتا ہے۔
پیچیدہ عمل کے ماحول کی حمایت کریں:ایسے عمل میں جن کے لیے ماحول کے پیچیدہ کنٹرول کی ضرورت ہوتی ہے، جیسے کہ ICP ایچنگ اور PSS اینچنگ کے عمل، سلیکون کاربائیڈ سیرامک کوٹنگ کی استحکام اور آکسیڈیشن مزاحمت اس بات کو یقینی بناتی ہے کہ سامان طویل مدتی آپریشن میں مستحکم کارکردگی کو برقرار رکھتا ہے، جس سے مواد کے انحطاط یا سامان کے نقصان کا خطرہ کم ہوتا ہے۔ ماحولیاتی تبدیلیوں کو.
| سی وی ڈی SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC کی بنیادی جسمانی خصوصیاتکوٹنگ | |
| 性质 / جائیداد | 典型数值 / عام قدر |
| 晶体结构 / کرسٹل کی ساخت | ایف سی سی β مرحلہ多晶، 主要为 (111）取向 |
| 密度 / کثافت | 3.21 گرام/cm³ |
| 硬度 / سختی | 2500 维氏硬度（500g لوڈ） |
| 晶粒大小 / اناج کا سائز | 2~10μm |
| 纯度 / کیمیائی طہارت | 99.99995% |
| 热容 / حرارت کی صلاحیت | 640 J·kg-1· K-1 |
| 升华温度 / Sublimation درجہ حرارت | 2700℃ |
| 抗弯强度 / لچکدار طاقت | 415 MPa RT 4 پوائنٹ |
| 杨氏模量 / نوجوان کا ماڈیولس | 430 Gpa 4pt موڑ، 1300℃ |
| 导热系数 / تھرماlچالکتا | 300W·m-1· K-1 |
| 热膨胀系数 / تھرمل توسیع (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
ہماری فیکٹری کا دورہ کرنے کے لئے آپ کو گرمجوشی سے خوش آمدید، آئیے مزید بحث کریں!
