Яка функція графітового човна PECVD?

Як носій звичайних кремнієвих пластин у процесі виробництва покриттяграфітовий човенмає багато пластин човна з певним інтервалом у структурі, і є дуже вузький простір між двома сусідніми пластинами човна, а кремнієві пластини розміщені з обох боків порожніх дверцят.

Оскільки графіт, матеріал графітового човна, має хорошу провідність і теплопровідність, напруга змінного струму прикладається між двома сусідніми човнами, щоб утворити позитивний і негативний електроди. Коли в камері є певний тиск повітря і газу, між двома човнами виникає тліючий розряд. Тліючий розряд може розкладати газ SiH4 і NH3 у просторі, утворювати іони Si та N і об’єднуватися, утворюючи молекули SiNx. Він наноситься на поверхню кремнієвої пластини для досягнення мети покриття.

Структура та розмір графітового човна, як носія антиблікового покриття сонячних елементів, безпосередньо впливають на ефективність перетворення та ефективність виробництва кремнієвої пластини. Після багатьох років технічних досліджень і розробок наша компанія тепер має сучасне виробниче обладнання, розробників зрілих технологій і досвідчений виробничий персонал, а матеріали є імпортованою сировиною. В даний час графітовий човен, виготовлений нашою компанією, має переваги високої ефективності. Структура проста, а відстань між графітовим човном є розумною, що робить покриття кремнієвої пластини рівномірним, покращує якість кремнієвої пластини та робить висока ефективність перетворення сонячної енергії. Компанія Shijin має всі види чорнильних човнів, які зараз потрібні ринку

21


Час публікації: 08 квітня 2021 р
Онлайн-чат WhatsApp!