Як показано вище, є типовим
Перший тайм:
Нагрівальний елемент (нагрівальна спіраль): розташований навколо труби печі, зазвичай складається з дротів опору, використовується для нагрівання внутрішньої частини труби печі.
Кварцова трубка: серцевина гарячої окислювальної печі, виготовлена з високочистого кварцу, який може витримувати високі температури та залишатися хімічно інертним.
Подача газу: розташований у верхній або бічній частині труби печі, він використовується для транспортування кисню або інших газів усередину труби печі.
Фланець SS: компоненти, які з'єднують кварцові трубки і газопроводи, забезпечуючи герметичність і стабільність з'єднання.
Лінії подачі газу: труби, які з’єднують MFC з портом подачі газу для транспортування газу.
MFC (контролер масового потоку): пристрій, який контролює потік газу всередині кварцової трубки для точного регулювання необхідної кількості газу.
Вентиляційний отвір: Використовується для виведення відпрацьованого газу зсередини топкової труби назовні обладнання.
Нижня частина
Кремнієві пластини в тримачі: кремнієві пластини розміщені в спеціальному тримачі для забезпечення рівномірного нагрівання під час окислення.
Тримач для пластин: використовується для утримання кремнієвої пластини та гарантує, що кремнієва пластина залишається стабільною під час процесу.
П’єдестал: конструкція, яка тримає тримач кремнієвої пластини, зазвичай виготовлений зі стійкого до високих температур матеріалу.
Елеватор: Використовується для підйому тримачів для пластин у та з кварцових трубок для автоматичного завантаження та вивантаження кремнієвих пластин.
Робот для перенесення пластин: розташований збоку від труби печі, він використовується для автоматичного вилучення кремнієвої пластини з коробки та розміщення її в трубі печі або видалення після обробки.
Карусель для зберігання касет: карусель для зберігання касет використовується для зберігання коробки з кремнієвими пластинами та може обертатися для доступу робота.
Вафельна касета: вафельна касета використовується для зберігання та передачі кремнієвих пластин, які підлягають обробці.
Час публікації: 22 квітня 2024 р