Детально пояснюється внутрішня будова трубного обладнання печі

Як показано вище, є типовим

Перший тайм:

▪ Нагрівальний елемент (нагрівальна спіраль):

розташовані навколо труби печі, зазвичай виготовлені з дротів опору, які використовуються для нагрівання внутрішньої частини труби печі.

▪ Кварцова трубка:

Ядро гарячої окислювальної печі, виготовлене з високочистого кварцу, який може витримувати високі температури та залишатися хімічно інертним.

▪ Подача газу:

Розташований у верхній або бічній частині труби печі, він використовується для транспортування кисню або інших газів усередину труби печі.

▪ Фланець SS:

компоненти, які з'єднують кварцові трубки і газопроводи, забезпечуючи герметичність і стабільність з'єднання.

▪ Лінії подачі газу:

Труби, які з'єднують МФЦ з портом подачі газу для транспортування газу.

▪ MFC (Контролер масової витрати):

Пристрій, який контролює потік газу всередині кварцової трубки для точного регулювання необхідної кількості газу.

▪ Вентиляційний отвір:

Використовується для виведення відпрацьованого газу зсередини пічної труби назовні обладнання.

Нижня частина:

▪ Кремнієві пластини в тримачі:

Кремнієві пластини розміщені в спеціальному тримачі для забезпечення рівномірного нагріву під час окислення.

▪ Тримач для вафель:

Використовується для утримання кремнієвої пластини та забезпечення стабільності кремнієвої пластини під час процесу.

▪ П'єдестал:

Структура, яка утримує кремнієву пластину. Тримач зазвичай виготовлений із стійкого до високих температур матеріалу.

▪ Ліфт:

Використовується для підйому тримачів пластин у та з кварцових трубок для автоматичного завантаження та вивантаження кремнієвих пластин.

▪ Робот для перенесення пластин:

розташований збоку від труби печі, він використовується для автоматичного виймання кремнієвої пластини з коробки та розміщення її в трубі печі або видалення після обробки.