ЯК ЗРОБИТИ СИЛІКОНОВУ ПЛАСТИНУ
A вафельнийце шматок кремнію товщиною приблизно 1 міліметр, який має надзвичайно плоску поверхню завдяки технічно дуже складним процедурам. Подальше використання визначає, яку процедуру вирощування кристалів слід застосовувати. У процесі Чохральського, наприклад, полікристалічний кремній розплавляють, і тонкий, як олівець, затравковий кристал занурюють у розплавлений кремній. Потім затравковий кристал повертають і повільно витягують вгору. Виходить дуже важкий колос, монокристал. Вибирати електричні характеристики монокристала можна шляхом додавання невеликих одиниць легуючих добавок високої чистоти. Кристали легуються відповідно до специфікацій замовника, потім поліруються та нарізаються на пластини. Після різних додаткових етапів виробництва клієнт отримує зазначені вафлі в спеціальній упаковці, що дозволяє замовнику використовувати вафлі відразу на своїй виробничій лінії.
ПРОЦЕС ЧОХРАЛЬСЬКОГО
Сьогодні велика частина монокристалів кремнію вирощується відповідно до процесу Чохральського, який передбачає плавлення полікристалічного кремнію високої чистоти в надчистому кварцовому тиглі та додавання допанту (зазвичай B, P, As, Sb). Тонкий монокристалічний затравковий кристал занурюють у розплавлений кремній. Тоді з цього тонкого кристала розвивається великий кристал CZ. Точне регулювання температури та потоку розплавленого кремнію, обертання кристала та тигля, а також швидкості витягування кристала призводить до отримання надзвичайно високоякісного монокристалічного кремнію.
МЕТОД ФЛОАТ-ЗОН
Монокристали, виготовлені за методом флоат-зони, ідеально підходять для використання в силових напівпровідникових компонентах, таких як IGBT. Злиток полікристалічного кремнію циліндричної форми встановлений на індукційній котушці. Радіочастотне електромагнітне поле допомагає розплавити кремній з нижньої частини стрижня. Електромагнітне поле регулює потік кремнію через невеликий отвір в індукційній котушці на монокристал, який лежить під ним (метод флоат-зони). Легування, зазвичай B або P, досягається шляхом додавання газоподібних речовин.
Час публікації: 07 червня 2021 р