6-дюймова напівізоляційна пластина SiC від VET Energy є передовим рішенням для високопотужних і високочастотних застосувань, що забезпечує чудову теплопровідність і електричну ізоляцію. Ці напівізоляційні пластини необхідні для розробки таких пристроїв, як радіочастотні підсилювачі, перемикачі живлення та інші високовольтні компоненти. VET Energy забезпечує постійну якість і продуктивність, що робить ці пластини ідеальними для широкого діапазону процесів виготовлення напівпровідників.
На додаток до їхніх видатних ізоляційних властивостей, ці пластини SiC сумісні з різноманітними матеріалами, включаючи кремнієву пластину, підкладку SiC, пластину SOI, підкладку SiN та пластину Epi, що робить їх універсальними для різних типів виробничих процесів. Крім того, передові матеріали, такі як оксид галію Ga2O3 і пластини AlN, можна використовувати в поєднанні з цими пластинами SiC, забезпечуючи ще більшу гнучкість у потужних електронних пристроях. Пластини розроблені для бездоганної інтеграції з галузевими стандартними системами обробки, такими як касетні системи, що забезпечує легкість використання в умовах масового виробництва.
VET Energy пропонує повний асортимент напівпровідникових підкладок, включаючи Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate, Epi Wafer, Gallium Oxide Ga2O3 та AlN Wafer. Наша різноманітна лінійка продуктів задовольняє потреби різних електронних застосувань, від силової електроніки до радіочастотної та оптоелектронної техніки.
6-дюймова напівізоляційна пластина SiC має кілька переваг:
Висока пробивна напруга: широка заборонена зона SiC забезпечує більш високі пробивні напруги, створюючи більш компактні та ефективні пристрої живлення.
Робота при високій температурі: чудова теплопровідність SiC дозволяє працювати при більш високих температурах, підвищуючи надійність пристрою.
Низький опір увімкнення: пристрої з SiC демонструють нижчий опір увімкнення, зменшуючи втрати потужності та покращуючи енергоефективність.
VET Energy пропонує пластини SiC, які можна налаштувати відповідно до ваших конкретних вимог, включаючи різну товщину, рівні легування та обробку поверхні. Наша команда експертів надає технічну підтримку та післяпродажне обслуговування, щоб забезпечити ваш успіх.
ТЕХНІЧНІ ХАРАКТЕРИСТИКИ ВАФЕЛЬ
*n-Pm=n-тип Pm-клас, n-Ps=n-тип Ps-клас, Sl=напівізоляційний
Пункт | 8-дюймовий | 6-дюймовий | 4-дюймовий | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
TTV (GBIR) | ≤6 мкм | ≤6 мкм | |||
Лук (GF3YFCD) - абсолютне значення | ≤15 мкм | ≤15 мкм | ≤25 мкм | ≤15 мкм | |
Деформація (GF3YFER) | ≤25 мкм | ≤25 мкм | ≤40 мкм | ≤25 мкм | |
LTV(SBIR)-10ммх10мм | <2 мкм | ||||
Вафельний край | Скошування |
ОБРОБКА ПОВЕРХНІ
*n-Pm=n-тип Pm-клас, n-Ps=n-тип Ps-клас, Sl=напівізоляційний
Пункт | 8-дюймовий | 6-дюймовий | 4-дюймовий | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
Оздоблення поверхні | Двостороння оптична полірування, Si-Face CMP | ||||
Шорсткість поверхні | (10 мкм x 10 мкм) Si-FaceRa≤0,2 нм | (5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm | |||
Крайові чіпи | Не допускається (довжина та ширина≥0,5 мм) | ||||
Відступи | Не дозволено | ||||
Подряпини (Si-Face) | К-сть ≤5, Сукупний | К-сть ≤5, Сукупний | К-сть ≤5, Сукупний | ||
Тріщини | Не дозволено | ||||
Виключення краю | 3 мм |