SiC Coated Graphite Carrier / Susceptor

Maikling Paglalarawan:

Ang VET Energy SiC Coated Graphite Carrier/Susceptor ay isang produkto na may mataas na pagganap na idinisenyo upang magbigay ng pare-pareho at maaasahang pagganap sa loob ng mahabang panahon.Mayroon itong napakahusay na paglaban sa init at pagkakapareho ng thermal, mataas na kadalisayan, paglaban sa pagguho, na ginagawa itong perpektong solusyon para sa mga aplikasyon sa pagpoproseso ng wafer.

Magpadala ng email sa amin I-download bilang PDF

Detalye ng Produkto

Mga Tag ng Produkto

Ang SiC coated suscetpor ay isang pangunahing sangkap na ginagamit sa iba't ibang proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor.Ginagamit namin ang aming patented na teknolohiya upang gawin ang SiC coated suscetpor na may napakataas na kadalisayan, magandang pagkakapareho ng coating at isang mahusay na buhay ng serbisyo, pati na rin ang mataas na chemical resistance at thermal stability properties.

Mga tampok ng aming mga produkto:

1. Mataas na temperatura paglaban sa oksihenasyon hanggang sa 1700 ℃.
2. Mataas na kadalisayan at pagkakapareho ng thermal
3. Napakahusay na paglaban sa kaagnasan: acid, alkali, asin at mga organikong reagents.
4. Mataas na tigas, compact na ibabaw, pinong mga particle.
5. Mas mahabang buhay ng serbisyo at mas matibay

CVD SiC薄膜基本物理性能 Mga pangunahing pisikal na katangian ng CVD SiCpatong
性质 / Ari-arian	典型数值 / Tipikal na halaga
晶体结构 / Istraktura ng Kristal	FCC β phase多晶，主要为（111）取向
密度 / Densidad	3.21 g/cm³
硬度 / Katigasan	2500 维氏硬度（500g load）
晶粒大小 / Sukat ng Butil	2~10μm
纯度 / Kadalisayan ng Kemikal	99.99995%
热容 / Kapasidad ng init	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura ng Sublimation	2700 ℃
抗弯强度 / Flexural na Lakas	415 MPa RT 4-point
杨氏模量 / Young's Modulus	430 Gpa 4pt bend, 1300℃
导热系数 / ThermalKonduktibidad	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Thermal Expansion(CTE)	4.5×10^-6K^-1