Graphite Wafer Boat para sa Deposition

Maikling Paglalarawan:

Ang VET Energy graphite wafer boat ay isang de-kalidad na consumable na iniayon para sa mga proseso ng deposition sa semiconductor, photovoltaic at iba pang mga industriya. Ginawa ng high-purity, high-density graphite material, ang produktong ito ay may mahusay na mataas na temperatura na pagtutol, corrosion resistance, dimensional na katatagan at iba pang mga katangian, at maaaring magbigay ng isang matatag na platform ng carrier para sa proseso ng pag-deposition upang matiyak ang pagkakapareho at flatness ng thin film deposition .

Magpadala ng email sa amin I-download bilang PDF

Detalye ng Produkto

Mga Tag ng Produkto

Ang PECVD graphite boat mula sa VET Energy ay ginawa gamit ang high-purity isostatic graphite, na nagtatampok ng porosity sa ibaba 15% at surface roughness Ra≤1.6μm. Ang superior dimensional stability at thermal conductivity ay nagsisiguro ng pare-parehong film deposition at pinahusay na cell efficiency.

Graphite material mula sa SGL:

Karaniwang parameter: R6510
Index	Pamantayan sa pagsubok	Halaga	Yunit
Average na laki ng butil	ISO 13320	10	μm
Bulk density	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Buksan ang porosity	DIN66133	10	%
Katamtamang laki ng butas	DIN66133	1.8	μm
Pagkamatagusin	DIN 51935	0.06	cm²/s
Ang tigas ng Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Tukoy na resistivity ng kuryente	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Flexural na lakas	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Lakas ng compressive	DIN 51910	130	MPa
Modulus ni Young	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Thermal expansion(20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Thermal conductivity (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Ito ay partikular na idinisenyo para sa high-efficiency solar cell manufacturing, na sumusuporta sa G12 large-size wafer processing. Ang na-optimize na disenyo ng carrier ay makabuluhang nagpapataas ng throughput, na nagpapagana ng mas mataas na mga rate ng ani at mas mababang mga gastos sa produksyon.

item	Uri	Numero ng wafer carrier
PEVCD Grephite boat - Ang 156 series	156-13 grephite boat	144
	156-19 grephite boat	216
	156-21 grephite boat	240
	156-23 graphite boat	308
PEVCD Grephite boat - Ang 125 series	125-15 grephite boat	196
	125-19 grephite boat	252
	125-21 graphite na bangka	280