Graphite Carrier para sa proseso ng PECVD

Maikling Paglalarawan:

Enerhiya ng VETAng PECVD Graphite Boat para sa Solar Panel ay isang advanced na bahagi na partikular na idinisenyo para sa produksyon ng mga high-performance na solar panel. Ginagamit sa mga proseso ng Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD), tinitiyak ng graphite boat na ito ang pinakamainam na paghawak ng materyal at pare-parehong pagdeposito ng mga manipis na pelikula sa mga solar cell. Ininhinyero para sa katumpakan at tibay, nagbibigay ito ng superyor na thermal conductivity, mataas na corrosion resistance, at minimal na kontaminasyon, na mahalaga para sa paggawa ng mahusay, mataas na kalidad na mga solar panel.

Magpadala ng email sa amin I-download bilang PDF

Detalye ng Produkto

Mga Tag ng Produkto

Enerhiya ng VETAng PECVD process graphite carrier ay isang de-kalidad na consumable na iniayon para sa proseso ng PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition). Ang graphite carrier na ito ay gawa sa high-purity, high-density graphite material, na may mahusay na mataas na temperatura resistance, corrosion resistance, dimensional stability at iba pang mga katangian, ay maaaring magbigay ng isang matatag na platform ng carrier para sa proseso ng PECVD, upang matiyak ang pagkakapareho at flatness ng manipis na pelikula pagtitiwalag.

Ang mga graphite carrier para sa proseso ng PECVD ay may mga sumusunod na katangian:

▪ Mataas na kadalisayan: napakababang nilalaman ng karumihan, pag-iwas sa kontaminasyon ng pelikula at pagtiyak ng kalidad ng pelikula.

▪ Mataas na densidad: mataas na densidad, mataas na lakas ng makina, kayang tiisin ang mataas na temperatura at mataas na presyon na kapaligiran ng PECVD.

▪ Magandang dimensional na katatagan: maliit na dimensional na pagbabago sa mataas na temperatura, tinitiyak ang katatagan ng proseso.

▪ Napakahusay na thermal conductivity: epektibong naglilipat ng init upang maiwasan ang overheating ng wafer.

▪ Malakas na lumalaban sa kaagnasan: kayang lumaban sa pagguho ng iba't ibang kinakaing gas at plasma.

▪ Customized na serbisyo: graphite carrier ng iba't ibang laki at hugis ay maaaring i-customize ayon sa mga pangangailangan ng customer.

Graphite material mula sa SGL:

Karaniwang parameter: R6510
Index	Pamantayan sa pagsubok	Halaga	Yunit
Average na laki ng butil	ISO 13320	10	μm
Bulk density	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Buksan ang porosity	DIN66133	10	%
Katamtamang laki ng butas	DIN66133	1.8	μm
Pagkamatagusin	DIN 51935	0.06	cm²/s
Ang tigas ng Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Tukoy na resistivity ng kuryente	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Flexural na lakas	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Lakas ng compressive	DIN 51910	130	MPa
Modulus ni Young	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Thermal expansion(20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Thermal conductivity (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Ito ay partikular na idinisenyo para sa high-efficiency solar cell manufacturing, na sumusuporta sa G12 large-size wafer processing. Ang na-optimize na disenyo ng carrier ay makabuluhang nagpapataas ng throughput, na nagpapagana ng mas mataas na mga rate ng ani at mas mababang mga gastos sa produksyon.

item	Uri	Numero ng wafer carrier
PEVCD Grephite boat - Ang 156 series	156-13 grephite boat	144
	156-19 grephite boat	216
	156-21 grephite boat	240
	156-23 graphite boat	308
PEVCD Grephite boat - Ang 125 series	125-15 grephite boat	196
	125-19 grephite boat	252
	125-21 graphite na bangka	280