Enerhiya ng VETAng PECVD graphite boat para sa mga solar cell ay isang pangunahing consumable na idinisenyo para sa proseso ng PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition) ng mga solar cell. Ang graphite boat ay gawa sa high-purity isostatic graphite na may porosity na mas mababa sa 15% at isang surface roughness na Ra≤1.6μm. Ito ay may mahusay na mga katangian tulad ng mataas na temperatura paglaban, kaagnasan paglaban, at dimensional katatagan. Ang mahusay na dimensional na katatagan at thermal conductivity ay tinitiyak ang pare-parehong pag-deposito ng pelikula at pagbutihin ang kahusayan ng baterya. Maaari itong magbigay ng isang matatag na carrier sa isang mataas na temperatura at mataas na presyon na kapaligiran ng PECVD upang matiyak ang pare-parehong pagdeposito at mataas na kalidad ng mga solar cell film.
Graphite material mula sa SGL:
Karaniwang parameter: R6510 | |||
Index | Pamantayan sa pagsubok | Halaga | Yunit |
Average na laki ng butil | ISO 13320 | 10 | μm |
Bulk density | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
Buksan ang porosity | DIN66133 | 10 | % |
Katamtamang laki ng butas | DIN66133 | 1.8 | μm |
Pagkamatagusin | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
Ang tigas ng Rockwell HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
Tukoy na resistivity ng kuryente | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
Flexural na lakas | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
Lakas ng compressive | DIN 51910 | 130 | MPa |
Modulus ni Young | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
Thermal expansion(20-200℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
Thermal conductivity (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Ito ay partikular na idinisenyo para sa high-efficiency solar cell manufacturing, na sumusuporta sa G12 large-size wafer processing. Ang na-optimize na disenyo ng carrier ay makabuluhang nagpapataas ng throughput, na nagpapagana ng mas mataas na mga rate ng ani at mas mababang mga gastos sa produksyon.
item | Uri | Numero ng wafer carrier |
PEVCD Grephite boat - Ang 156 series | 156-13 grephite boat | 144 |
156-19 grephite boat | 216 | |
156-21 grephite boat | 240 | |
156-23 graphite boat | 308 | |
PEVCD Grephite boat - Ang 125 series | 125-15 grephite boat | 196 |
125-19 grephite boat | 252 | |
125-21 graphite na bangka | 280 |