sinisiguro ng vet-china na ang bawat MatibaySilicon Carbide Wafer Handling Paddleay may mahusay na pagganap at tibay. Gumagamit ang silicon carbide wafer handling paddle na ito ng mga advanced na proseso ng pagmamanupaktura upang matiyak na mananatili ang structural stability at functionality nito sa mataas na temperatura at chemical corrosion na kapaligiran. Ang makabagong disenyo na ito ay nagbibigay ng mahusay na suporta para sa semiconductor wafer handling, lalo na para sa mga high-precision na awtomatikong operasyon.
SiC Cantilever Paddleay isang dalubhasang sangkap na ginagamit sa mga kagamitan sa pagmamanupaktura ng semiconductor tulad ng oxidation furnace, diffusion furnace, at annealing furnace, ang pangunahing gamit ay para sa paglo-load at pag-unload ng wafer, pagsuporta at pagdadala ng mga wafer sa panahon ng mga prosesong may mataas na temperatura.
Mga karaniwang istrukturangSiCcantileverpaddle: isang cantilever na istraktura, na naayos sa isang dulo at libre sa kabilang dulo, ay karaniwang may flat at parang paddle na disenyo.
NagtatrabahoprinciplengSiCcantileverpaddle:
Ang cantilever paddle ay maaaring gumalaw pataas at pababa o pabalik-balik sa loob ng furnace chamber, maaari itong gamitin upang ilipat ang mga wafer mula sa mga lugar ng paglo-load patungo sa mga lugar ng pagpoproseso, o palabas sa mga lugar ng pagpoproseso, na sumusuporta at nagpapatatag ng mga wafer sa panahon ng pagproseso ng mataas na temperatura.
Mga pisikal na katangian ng Recrystallized Silicon Carbide | |
Ari-arian | Karaniwang Halaga |
Temperatura sa pagtatrabaho (°C) | 1600°C (may oxygen), 1700°C (nagpapababa ng kapaligiran) |
nilalaman ng SiC | > 99.96% |
Libreng Si content | < 0.1% |
Bulk density | 2.60-2.70 g/cm3 |
Maliwanag na porosity | < 16% |
Lakas ng compression | > 600 MPa |
Malamig na baluktot na lakas | 80-90 MPa (20°C) |
Mainit na lakas ng baluktot | 90-100 MPa (1400°C) |
Thermal expansion @1500°C | 4.70 10-6/°C |
Thermal conductivity @1200°C | 23 W/m•K |
Nababanat na modulus | 240 GPa |
Thermal shock resistance | Napakahusay |