การเผาผนึกซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC)คริสตัล/เรือเวเฟอร์ได้รับการออกแบบมาเพื่อตอบสนองความต้องการที่เข้มงวดของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และไมโครอิเล็กทรอนิกส์ โดยเป็นแพลตฟอร์มที่ปลอดภัยสำหรับการจัดการผลึกซิลิคอนและเวเฟอร์ในระหว่างการประมวลผลที่อุณหภูมิสูง ทำให้มั่นใจได้ว่าจะรักษาความสมบูรณ์และความบริสุทธิ์ไว้ตลอด
คุณสมบัติที่สำคัญ
- เสถียรภาพทางความร้อนที่โดดเด่น: ทนอุณหภูมิได้สูงถึง 1600°C เหมาะสำหรับกระบวนการที่ต้องการการควบคุมความร้อนที่แม่นยำ
- ทนทานต่อสารเคมีที่เหนือกว่า: ทนทานต่อสารเคมีและก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนส่วนใหญ่ ให้ความทนทานในสภาพแวดล้อมการประมวลผลที่รุนแรง
- ความแข็งแรงทางกลที่แข็งแกร่ง: คงความสมบูรณ์ของโครงสร้างภายใต้ความเค้นสูง ลดโอกาสที่จะเกิดการเสียรูปหรือการแตกหัก
- การขยายตัวทางความร้อนน้อยที่สุด: ออกแบบมาเพื่อลดความเสี่ยงต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิแบบฉับพลันและการแตกร้าว ให้ประสิทธิภาพที่เชื่อถือได้ตลอดการใช้งานเป็นเวลานาน
- การผลิตที่แม่นยำ: สร้างขึ้นด้วยความแม่นยำสูงเพื่อตอบสนองความต้องการกระบวนการเฉพาะและรองรับคริสตัลและเวเฟอร์ขนาดต่างๆ
การใช้งาน
• การประมวลผลเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์
• การผลิตแอลอีดี
• การผลิตเซลล์แสงอาทิตย์
• ระบบการสะสมไอสารเคมี (CVD)
• การวิจัยและพัฒนาในด้านวัสดุศาสตร์
| 烧结碳化硅物理特性 คุณสมบัติทางกายภาพของSแทรกแซงSไอคอนCตัดสิน | |
| 性质 / คุณสมบัติ | 典型数值 / ค่าทั่วไป |
| 化学成分 / เคมีองค์ประกอบ | SiC>95%, Si<5% |
| 体积密度 / ความหนาแน่นเป็นกลุ่ม | >3.07 ก./ซม.³ |
| 显气孔率/ มีลักษณะพรุนอย่างเห็นได้ชัด มีความพรุนอย่างเห็นได้ชัด | <0.1% |
| 常温抗弯强度/ โมดูลัสของการแตกร้าวที่ 20°C | 270 เมกะปาสคาล |
| 高温抗弯强度/ โมดูลัสของการแตกร้าวที่ 1200°C | 290MPa |
| 硬度/ ความแข็งที่ 20°C | 2,400 กก./ตร.มม |
| 断裂韧性/ความเหนียวแตกหักที่ 20% | 3.3เมกะปาสคาล · ม1/2 |
| 导热系数/ การนำความร้อนที่ 1200°C | 45กับม.เค |
| 热膨胀系数/ การขยายตัวทางความร้อนที่ 20-1200°C | 4.51 ×10-6/℃ |
| 最高工作温度/ อุณหภูมิสูงสุดในการทำงาน | 1,400 ℃ |
| 热震稳定性/ ทนต่อแรงกระแทกจากความร้อนที่ 1200°C | ดี |
เหตุใดจึงเลือกเรือคริสตัล/เวเฟอร์เผาซิลิกอนคาร์ไบด์ (SiC) ของเรา
การเลือก SiC Crystal/Wafer Boat ของเราหมายถึงการเลือกความน่าเชื่อถือ ประสิทธิภาพ และอายุการใช้งานที่ยาวนาน เรือแต่ละลำผ่านมาตรการควบคุมคุณภาพที่เข้มงวดเพื่อให้แน่ใจว่าเป็นไปตามมาตรฐานสูงสุดของอุตสาหกรรม ผลิตภัณฑ์นี้ไม่เพียงแต่ช่วยเพิ่มความปลอดภัยและผลผลิตของกระบวนการผลิตของคุณ แต่ยังรับประกันคุณภาพที่สม่ำเสมอของผลึกซิลิคอนและเวเฟอร์ของคุณอีกด้วย ด้วย SiC Crystal/Wafer Boat ของเรา คุณสามารถไว้วางใจในโซลูชันที่สนับสนุนความเป็นเลิศในการปฏิบัติงานของคุณได้
