สารพาหะการเคลือบ SiC RTP/RTA สำหรับการเติบโตอีพิแอกเซียลของ MOCVD

คำอธิบายสั้น ๆ :

สารตัวเคลือบ SiC ของ VET Energy RTP/RTA เป็นผลิตภัณฑ์ประสิทธิภาพสูงที่ออกแบบมาเพื่อให้ประสิทธิภาพที่สม่ำเสมอและเชื่อถือได้ตลอดระยะเวลาที่ขยายออกไป มีความต้านทานความร้อนและความสม่ำเสมอทางความร้อนที่ดีเยี่ยม มีความบริสุทธิ์สูง ทนต่อการกัดกร่อน ทำให้เป็นโซลูชั่นที่สมบูรณ์แบบสำหรับการใช้งานในการประมวลผลแผ่นเวเฟอร์


  • แหล่งกำเนิดสินค้า :จีน
  • โครงสร้างคริสตัล:เฟสFCCβ
  • ความหนาแน่น :3.21 ก./ซม
  • ความแข็ง :2,500 วิคเกอร์
  • ขนาดเกรน :2~10ไมโครเมตร
  • ความบริสุทธิ์ของสารเคมี :99.99995%
  • ความจุความร้อน:640J·กก.-1·K-1
  • อุณหภูมิการระเหิด :2,700 ℃
  • ความแข็งแรงของเฟล็กซ์เจอร์ :415 เมกะปาสคาล (RT 4 จุด)
  • โมดูลัสของยัง:430 Gpa (โค้ง 4 พอยต์, 1300°C)
  • การขยายความร้อน (CTE) :4.5 10-6K-1
  • การนำความร้อน:300(W/MK)
  • รายละเอียดสินค้า

    แท็กสินค้า

    ตัวพาการเคลือบ SiC สำหรับ RTP/RTA เป็นส่วนประกอบสำคัญที่ใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่เรียกว่า Rapid Thermal Processing & Annealing เราใช้เทคโนโลยีที่ได้รับสิทธิบัตรของเราเพื่อสร้างตัวพาซิลิกอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูงมาก ความสม่ำเสมอของการเคลือบที่ดี และอายุการใช้งานที่ยอดเยี่ยม เนื่องจาก รวมถึงมีคุณสมบัติทนต่อสารเคมีและเสถียรภาพทางความร้อนสูง

    คุณสมบัติของผลิตภัณฑ์ของเรา:

    1. ทนต่อการเกิดออกซิเดชันที่อุณหภูมิสูงถึง 1,700 ℃
    2. มีความบริสุทธิ์สูงและสม่ำเสมอทางความร้อน
    3. ทนต่อการกัดกร่อนได้ดีเยี่ยม: กรด ด่าง เกลือ และรีเอเจนต์อินทรีย์

    4. มีความแข็งสูง พื้นผิวกะทัดรัด อนุภาคละเอียด
    5. อายุการใช้งานยาวนานขึ้นและทนทานมากขึ้น

    ซีวีดี SiC薄膜基本物理性能

    คุณสมบัติทางกายภาพพื้นฐานของ CVD SiCการเคลือบ

    性质 / คุณสมบัติ

    典型数值 / ค่าทั่วไป

    晶体结构 /โครงสร้างคริสตัล

    เฟส FCC β多晶,主要为(111)取向

    密度 / ความหนาแน่น

    3.21 ก./ซม.³

    硬度 /ความแข็ง

    2,500 กระป๋อง (โหลด 500 กรัม)

    晶粒大小 / เมล็ดข้าว SiZe

    2~10ไมโครเมตร

    纯度 / ความบริสุทธิ์ของสารเคมี

    99.99995%

    热容 /ความจุความร้อน

    640 เจ·กก-1·เค-1

    升华温度 /อุณหภูมิระเหิด

    2,700 ℃

    抗弯强度 / แรงดัดงอ

    415 MPa RT 4 จุด

    杨氏模量 / โมดูลัสของยัง

    430 Gpa 4pt โค้งงอ 1300 ℃

    导热系数 / เธอร์มาการนำไฟฟ้า

    300W·ม-1·เค-1

    热膨胀系数 / การขยายตัวทางความร้อน(CTE)

    4.5×10-6K-1

    1

    2

    VET Energy เป็นผู้ผลิตผลิตภัณฑ์กราไฟท์และซิลิกอนคาร์ไบด์ที่ปรับแต่งตามความต้องการอย่างแท้จริงซึ่งมีการเคลือบที่แตกต่างกัน เช่น การเคลือบ SiC, การเคลือบ TaC, การเคลือบคาร์บอนแบบแก้ว, การเคลือบคาร์บอนไพโรไลติก ฯลฯ สามารถจัดหาชิ้นส่วนแบบกำหนดเองต่างๆ สำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และไฟฟ้าโซลาร์เซลล์

    ทีมเทคนิคของเรามาจากสถาบันวิจัยชั้นนำในประเทศ สามารถจัดหาโซลูชันวัสดุที่เป็นมืออาชีพมากขึ้นให้กับคุณได้

    เราพัฒนากระบวนการขั้นสูงอย่างต่อเนื่องเพื่อจัดหาวัสดุขั้นสูงยิ่งขึ้น และได้พัฒนาเทคโนโลยีที่ได้รับสิทธิบัตรเฉพาะ ซึ่งสามารถทำให้การยึดเกาะระหว่างการเคลือบและซับสเตรตแน่นขึ้น และมีแนวโน้มที่จะหลุดออกน้อยลง

    ยินดีต้อนรับคุณอย่างอบอุ่นเพื่อเยี่ยมชมโรงงานของเรา มาพูดคุยกันเพิ่มเติม!

    研发团队

     

    生产设备

     

    公司客户

     


  • ก่อนหน้า:
  • ต่อไป:

  • แชทออนไลน์ WhatsApp!