ผลิตภัณฑ์Dคำอธิบาย
เรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในฐานะผู้ถือเวเฟอร์ในกระบวนการแพร่กระจายที่อุณหภูมิสูง
ข้อดี:
ทนต่ออุณหภูมิสูง:ใช้งานปกติที่ 1800 ℃
การนำความร้อนสูง:เทียบเท่ากับวัสดุกราไฟท์
มีความแข็งสูง:ความแข็งรองจากเพชร โบรอนไนไตรด์
ความต้านทานการกัดกร่อน:กรดและด่างแก่ไม่มีการกัดกร่อน ความต้านทานการกัดกร่อนดีกว่าทังสเตนคาร์ไบด์และอลูมินา
น้ำหนักเบา:ความหนาแน่นต่ำ ใกล้กับอลูมิเนียม
ไม่มีการเสียรูป: ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำ
ทนต่อแรงกระแทกจากความร้อน:สามารถทนต่อการเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิที่คมชัด ทนต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิ และมีเสถียรภาพ
คุณสมบัติทางกายภาพของ SiC
| คุณสมบัติ | ค่า | วิธี |
| ความหนาแน่น | 3.21 ก./ซีซี | อ่างล้างจานและมิติ |
| ความร้อนจำเพาะ | 0.66 เจ/กรัม °K | แฟลชเลเซอร์แบบพัลส์ |
| ความแข็งแรงของแรงดัดงอ | 450 เมกะปาสคาล560 เมกะปาสคาล | โค้ง 4 จุด, โค้ง RT4 จุด, 1300° |
| ความเหนียวแตกหัก | 2.94 เมกะพาสคัล ลบ.ม./2 | การเยื้องระดับไมโคร |
| ความแข็ง | 2800 | วิคเกอร์ส โหลด 500ก |
| โมดูลัสยืดหยุ่น โมดูลัสของยัง | 450 เกรดเฉลี่ย 430 เกรดเฉลี่ย | โค้ง 4 จุด, โค้ง RT4 pt, 1300 °C |
| ขนาดเกรน | 2 – 10 ไมโครเมตร | เอสอีเอ็ม |
คุณสมบัติทางความร้อนของ SiC
| การนำความร้อน | 250 วัตต์/ม.°เคลวิน | วิธีแฟลชด้วยเลเซอร์ RT |
| การขยายความร้อน (CTE) | 4.5 x 10-6 °เคล | อุณหภูมิห้องถึง 950 °C, ซิลิกาไดลาโตมิเตอร์ |
