แหวนกราไฟท์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ CVD

คำอธิบายสั้น ๆ :

วงแหวนกราไฟท์เคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์ของ VET Energy เป็นผลิตภัณฑ์ที่มีประสิทธิภาพสูงซึ่งออกแบบมาเพื่อให้ประสิทธิภาพที่สม่ำเสมอและเชื่อถือได้ตลอดระยะเวลาที่ขยายออกไป มีความต้านทานความร้อนและความสม่ำเสมอทางความร้อนที่ดีเยี่ยม มีความบริสุทธิ์สูง ทนต่อการกัดกร่อน ทำให้เป็นโซลูชั่นที่สมบูรณ์แบบสำหรับการใช้งานในการประมวลผลแผ่นเวเฟอร์


รายละเอียดสินค้า

แท็กสินค้า

คุณสมบัติทั่วไปของวัสดุกราไฟท์ฐาน:

ความหนาแน่นปรากฏ: 1.85 ก./ซม.3
ความต้านทานไฟฟ้า: 11 ไมโครโอห์มม
แรงดัดงอ: 49 เมกะปาสคาล (500kgf/cm2)
ความแข็งฝั่ง: 58
เถ้า: <5 หน้าต่อนาที
การนำความร้อน: 116 วัตต์/กิโลแคลอรี (100 กิโลแคลอรี/เมกะเฮิรตซ์-℃)

เราจัดหาตัวรับและส่วนประกอบกราไฟท์ต่างๆ สำหรับเครื่องปฏิกรณ์เอพิแทกซีในปัจจุบันทั้งหมด ผลิตภัณฑ์ของเราประกอบด้วยตัวรับแบบบาร์เรลสำหรับหน่วย LPE ตัวรับแพนเค้กสำหรับหน่วย LPE, CSD และ Gemini และตัวรับแบบเวเฟอร์เดี่ยวสำหรับหน่วยประยุกต์และ ASM

ด้วยการรวมความร่วมมือที่แข็งแกร่งกับ OEM ชั้นนำ ความเชี่ยวชาญด้านวัสดุ และความรู้ด้านการผลิต สัตวแพทย์จึงนำเสนอการออกแบบที่เหมาะสมที่สุดสำหรับการใช้งานของคุณ

3

เวท พลังงาน คือ ที่ผู้ผลิตผลิตภัณฑ์กราไฟท์และซิลิกอนคาร์ไบด์แบบกำหนดเองอย่างแท้จริงพร้อมการเคลือบ CVDสามารถจัดหาได้หลากหลายชิ้นส่วนที่กำหนดเองสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และไฟฟ้าโซลาร์เซลล์ Oทีมเทคนิคของคุณมาจากสถาบันวิจัยชั้นนำในประเทศ สามารถจัดหาโซลูชั่นวัสดุที่เป็นมืออาชีพมากขึ้นสำหรับคุณ.

Fคุณสมบัติของผลิตภัณฑ์ของเรา:

1. ทนต่อการเกิดออกซิเดชันที่อุณหภูมิสูงถึง 1700.
2. มีความบริสุทธิ์สูงและความสม่ำเสมอทางความร้อน
3. ทนต่อการกัดกร่อนได้ดีเยี่ยม: กรด ด่าง เกลือ และรีเอเจนต์อินทรีย์
4. มีความแข็งสูง พื้นผิวกะทัดรัด อนุภาคละเอียด
5. อายุการใช้งานยาวนานขึ้นและทนทานมากขึ้น

ซีวีดี SiC薄膜基本物理性能

คุณสมบัติทางกายภาพพื้นฐานของ CVD SiCการเคลือบ

性质 / คุณสมบัติ

典型数值 / ค่าทั่วไป

晶体结构 /โครงสร้างคริสตัล

เฟส FCC β多晶,主要为(111)取向

密度 / ความหนาแน่น

3.21 ก./ซม.³

硬度 /ความแข็ง

2,500 กระป๋อง (โหลด 500 กรัม)

晶粒大小 / เมล็ดข้าว SiZe

2~10ไมโครเมตร

纯度 / ความบริสุทธิ์ของสารเคมี

99.99995%

热容 /ความจุความร้อน

640 เจ·กก-1·เค-1

升华温度 /อุณหภูมิระเหิด

2,700 ℃

抗弯强度 / แรงดัดงอ

415 MPa RT 4 จุด

杨氏模量 / โมดูลัสของยัง

430 Gpa 4pt โค้งงอ 1300 ℃

导热系数 / เธอร์มาการนำไฟฟ้า

300W·ม-1·เค-1

热膨胀系数 / การขยายตัวทางความร้อน(CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

ยินดีต้อนรับคุณอย่างอบอุ่นเพื่อเยี่ยมชมโรงงานของเรา มาพูดคุยกันเพิ่มเติม!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • ก่อนหน้า:
  • ต่อไป:

  • แชทออนไลน์ WhatsApp!