SiC เคลือบกราไฟท์ MOCVD ตัวพาเวเฟอร์, ตัวรับกราไฟท์สำหรับSiC Epitaxy,
ตัวรับคาร์บอนจ่าย, ตัวรับ epitaxy ของกราไฟท์, วัสดุรองรับกราไฟท์, ตัวรับ MOCVD, SiC Epitaxy, เวเฟอร์ ซัสเซปเตอร์,
ข้อได้เปรียบพิเศษของตัวรับกราไฟท์ที่เคลือบด้วย SiC ของเรา ได้แก่ ความบริสุทธิ์ที่สูงมาก การเคลือบที่เป็นเนื้อเดียวกัน และอายุการใช้งานที่ยอดเยี่ยม อีกทั้งยังมีคุณสมบัติทนต่อสารเคมีและเสถียรภาพทางความร้อนสูงอีกด้วย
การเคลือบ SiC ของซับสเตรตกราไฟท์สำหรับการใช้งานเซมิคอนดักเตอร์จะสร้างชิ้นส่วนที่มีความบริสุทธิ์ที่เหนือกว่าและต้านทานต่อบรรยากาศออกซิไดซ์
CVD SiC หรือ CVI SiC ถูกนำไปใช้กับกราไฟท์ของชิ้นส่วนการออกแบบที่เรียบง่ายหรือซับซ้อน การเคลือบสามารถใช้ได้กับความหนาต่าง ๆ และกับชิ้นส่วนที่มีขนาดใหญ่มาก
คุณสมบัติ:
· ทนต่อแรงกระแทกจากความร้อนได้ดีเยี่ยม
· ทนต่อแรงกระแทกทางกายภาพได้ดีเยี่ยม
· ทนสารเคมี ดีเยี่ยม
· มีความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษ
· มีจำหน่ายในรูปทรงที่ซับซ้อน
· ใช้งานได้ภายใต้บรรยากาศออกซิไดซ์
แอปพลิเคชัน:
คุณสมบัติทั่วไปของวัสดุกราไฟท์ฐาน:
ความหนาแน่นปรากฏ: | 1.85 ก./ซม.3 |
ความต้านทานไฟฟ้า: | 11 ไมโครโอห์มม |
แรงดัดงอ: | 49 เมกะปาสคาล (500kgf/cm2) |
ความแข็งฝั่ง: | 58 |
เถ้า: | <5ppm |
การนำความร้อน: | 116 วัตต์/กิโลแคลอรี (100 กิโลแคลอรี/เมกะเฮิรตซ์-℃) |
ตัวรับคาร์บอนจ่ายและส่วนประกอบกราไฟท์สำหรับเครื่องปฏิกรณ์เอพิแทกซีในปัจจุบันทั้งหมด ผลงานของเราประกอบด้วยตัวรับแบบบาร์เรลสำหรับหน่วยประยุกต์และ LPE ตัวรับแพนเค้กสำหรับหน่วย LPE, CSD และ Gemini และตัวรับเวเฟอร์เดี่ยวสำหรับหน่วยประยุกต์และ ASM ด้วยการรวมความร่วมมือที่แข็งแกร่งกับ OEM ชั้นนำ ความเชี่ยวชาญด้านวัสดุ และความรู้ความชำนาญในการผลิต SGL เสนอการออกแบบที่เหมาะสมที่สุดสำหรับแอปพลิเคชันของคุณ