ตัวพาการเคลือบ SiC สำหรับ RTP/RTA เป็นส่วนประกอบสำคัญที่ใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่เรียกว่า Rapid Thermal Processing & Annealing เราใช้เทคโนโลยีที่ได้รับสิทธิบัตรของเราเพื่อสร้างตัวพาซิลิกอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูงมาก ความสม่ำเสมอของการเคลือบที่ดี และอายุการใช้งานที่ยอดเยี่ยม เนื่องจาก รวมถึงมีคุณสมบัติทนต่อสารเคมีและเสถียรภาพทางความร้อนสูง
คุณสมบัติของผลิตภัณฑ์ของเรา:
1. ทนต่อการเกิดออกซิเดชันที่อุณหภูมิสูงถึง 1,700 ℃
2. มีความบริสุทธิ์สูงและสม่ำเสมอทางความร้อน
3. ทนต่อการกัดกร่อนได้ดีเยี่ยม: กรด ด่าง เกลือ และรีเอเจนต์อินทรีย์
4. มีความแข็งสูง พื้นผิวกะทัดรัด อนุภาคละเอียด
5. อายุการใช้งานยาวนานขึ้นและทนทานมากขึ้น
| ซีวีดี SiC薄膜基本物理性能 คุณสมบัติทางกายภาพพื้นฐานของ CVD SiCการเคลือบ | |
| 性质 / คุณสมบัติ | 典型数值 / ค่าทั่วไป |
| 晶体结构 /โครงสร้างคริสตัล | เฟส FCC β多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / ความหนาแน่น | 3.21 ก./ซม.³ |
| 硬度 /ความแข็ง | 2,500 กระป๋อง (โหลด 500 กรัม) |
| 晶粒大小 / เมล็ดข้าว SiZe | 2~10ไมโครเมตร |
| 纯度 / ความบริสุทธิ์ของสารเคมี | 99.99995% |
| 热容 /ความจุความร้อน | 640 เจ·กก-1·เค-1 |
| 升华温度 /อุณหภูมิระเหิด | 2,700 ℃ |
| 抗弯强度 / แรงดัดงอ | 415 MPa RT 4 จุด |
| 杨氏模量 / โมดูลัสของยัง | 430 Gpa 4pt โค้งงอ 1300 ℃ |
| 导热系数 / เธอร์มาลการนำไฟฟ้า | 300W·ม-1·เค-1 |
| 热膨胀系数 / การขยายตัวทางความร้อน(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
VET Energy เป็นผู้ผลิตผลิตภัณฑ์กราไฟท์และซิลิกอนคาร์ไบด์ที่ปรับแต่งตามความต้องการอย่างแท้จริงซึ่งมีการเคลือบที่แตกต่างกัน เช่น การเคลือบ SiC, การเคลือบ TaC, การเคลือบคาร์บอนแบบแก้ว, การเคลือบคาร์บอนไพโรไลติก ฯลฯ สามารถจัดหาชิ้นส่วนแบบกำหนดเองต่างๆ สำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และไฟฟ้าโซลาร์เซลล์
ทีมเทคนิคของเรามาจากสถาบันวิจัยชั้นนำในประเทศ สามารถจัดหาโซลูชันวัสดุที่เป็นมืออาชีพมากขึ้นให้กับคุณได้
เราพัฒนากระบวนการขั้นสูงอย่างต่อเนื่องเพื่อจัดหาวัสดุขั้นสูงยิ่งขึ้น และได้พัฒนาเทคโนโลยีที่ได้รับสิทธิบัตรเฉพาะ ซึ่งสามารถทำให้การยึดเกาะระหว่างการเคลือบและซับสเตรตแน่นขึ้น และมีแนวโน้มที่จะหลุดออกน้อยลง
ยินดีต้อนรับคุณอย่างอบอุ่นเพื่อเยี่ยมชมโรงงานของเรา มาพูดคุยกันเพิ่มเติม!
