มีการอธิบายโครงสร้างภายในของอุปกรณ์ท่อเตาหลอมโดยละเอียด

ดังที่แสดงไว้ข้างต้นเป็นเรื่องปกติ

ครึ่งแรก:

▪ องค์ประกอบความร้อน (คอยล์ร้อน) :

ตั้งอยู่รอบๆ ท่อเตาหลอม มักทำด้วยลวดต้านทาน ใช้ให้ความร้อนภายในท่อเตาหลอม

▪ ท่อควอทซ์:

แกนของเตาออกซิเดชั่นร้อน ทำจากควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูง ซึ่งสามารถทนต่ออุณหภูมิสูงและยังคงเฉื่อยทางเคมี

▪ การป้อนแก๊ส:

ตั้งอยู่ที่ด้านบนหรือด้านข้างของท่อเตาหลอม ใช้สำหรับขนส่งออกซิเจนหรือก๊าซอื่น ๆ ไปยังด้านในของท่อเตาหลอม

▪ หน้าแปลน SS:

ส่วนประกอบที่เชื่อมต่อท่อควอทซ์และท่อแก๊สทำให้มั่นใจได้ถึงความแน่นและความมั่นคงของการเชื่อมต่อ

▪ ท่อป้อนแก๊ส:

ท่อที่เชื่อมต่อ MFC เข้ากับช่องจ่ายก๊าซเพื่อส่งก๊าซ

▪ MFC (ตัวควบคุมการไหลของมวล) :

อุปกรณ์ที่ควบคุมการไหลของก๊าซภายในท่อควอทซ์เพื่อควบคุมปริมาณก๊าซที่ต้องการอย่างแม่นยำ

▪ ช่องระบายอากาศ:

ใช้สำหรับระบายก๊าซไอเสียจากภายในท่อเตาเผาออกสู่ด้านนอกของอุปกรณ์

ส่วนล่าง:

▪ เวเฟอร์ซิลิคอนในที่ยึด:

เวเฟอร์ซิลิคอนถูกบรรจุอยู่ในที่ยึดแบบพิเศษเพื่อให้แน่ใจว่ามีความร้อนสม่ำเสมอในระหว่างการออกซิเดชั่น

▪ ที่วางเวเฟอร์:

ใช้เพื่อยึดเวเฟอร์ซิลิคอนและตรวจสอบให้แน่ใจว่าเวเฟอร์ซิลิกอนยังคงมีเสถียรภาพในระหว่างกระบวนการ

▪ ฐาน:

โครงสร้างที่ยึดตัวยึดเวเฟอร์ซิลิคอน ซึ่งมักทำจากวัสดุทนอุณหภูมิสูง

▪ ลิฟต์:

ใช้เพื่อยกที่ยึดเวเฟอร์เข้าและออกจากหลอดควอทซ์เพื่อการโหลดและการขนถ่ายเวเฟอร์ซิลิคอนโดยอัตโนมัติ

▪ หุ่นยนต์ถ่ายโอนเวเฟอร์:

ซึ่งตั้งอยู่ที่ด้านข้างของอุปกรณ์ท่อเตาหลอม ใช้เพื่อนำแผ่นเวเฟอร์ซิลิกอนออกจากกล่องโดยอัตโนมัติแล้ววางลงในท่อเตาหลอม หรือนำออกหลังจากการประมวลผล

▪ ม้าหมุนจัดเก็บเทปคาสเซ็ตต์:

วงล้อจัดเก็บ Cassette ใช้เพื่อจัดเก็บกล่องที่บรรจุเวเฟอร์ซิลิกอน และสามารถหมุนได้เพื่อให้หุ่นยนต์เข้าถึงได้

▪ ตลับเวเฟอร์:

ตลับเวเฟอร์ใช้ในการจัดเก็บและถ่ายโอนเวเฟอร์ซิลิคอนที่จะประมวลผล