VET Energy ใช้ความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC)เกิดจากการสะสมไอสารเคมี(ซีวีดี)เพื่อเป็นวัตถุดิบในการปลูกคริสตัล SiCโดยการขนส่งไอทางกายภาพ (PVT) ใน PVT วัสดุต้นทางจะถูกโหลดเข้าในเบ้าหลอมและระเหิดลงบนผลึกเมล็ด
ต้องใช้แหล่งที่มีความบริสุทธิ์สูงเพื่อผลิตสินค้าคุณภาพสูงคริสตัล SiC.
VET Energy เชี่ยวชาญในการจัดหา SiC อนุภาคขนาดใหญ่สำหรับ PVT เนื่องจากมีความหนาแน่นสูงกว่าวัสดุอนุภาคขนาดเล็กที่เกิดจากการเผาไหม้ที่เกิดขึ้นเองของก๊าซที่ประกอบด้วย Si และ C แตกต่างจากการเผาผนึกแบบโซลิดเฟสหรือปฏิกิริยาของ Si และ C ตรงที่ไม่ต้องใช้เตาเผาแบบเผาผนึกโดยเฉพาะหรือขั้นตอนการเผาแบบเผาในเตาเผาแบบเติบโตที่ใช้เวลานาน วัสดุที่มีอนุภาคขนาดใหญ่นี้มีอัตราการระเหยเกือบคงที่ ซึ่งช่วยปรับปรุงความสม่ำเสมอระหว่างการหมุนต่อการหมุน
การแนะนำ:
1. เตรียมแหล่งบล็อก CVD-SiC: ขั้นแรก คุณต้องเตรียมแหล่งบล็อก CVD-SiC คุณภาพสูง ซึ่งโดยปกติจะมีความบริสุทธิ์สูงและมีความหนาแน่นสูง ซึ่งสามารถเตรียมได้โดยวิธีการสะสมไอสารเคมี (CVD) ภายใต้สภาวะการทำปฏิกิริยาที่เหมาะสม
2. การเตรียมพื้นผิว: เลือกวัสดุพิมพ์ที่เหมาะสมเป็นสารตั้งต้นสำหรับการเจริญเติบโตของผลึกเดี่ยว SiC วัสดุซับสเตรตที่ใช้กันทั่วไป ได้แก่ ซิลิคอนคาร์ไบด์ ซิลิคอนไนไตรด์ ฯลฯ ซึ่งเข้ากันได้ดีกับผลึกเดี่ยว SiC ที่กำลังเติบโต
3. การทำความร้อนและการระเหิด: วางแหล่งกำเนิดบล็อก CVD-SiC และสารตั้งต้นในเตาเผาที่มีอุณหภูมิสูง และจัดให้มีสภาวะการระเหิดที่เหมาะสม การระเหิดหมายความว่าที่อุณหภูมิสูง แหล่งกำเนิดของบล็อกจะเปลี่ยนจากสถานะของแข็งเป็นไอโดยตรง จากนั้นจึงควบแน่นอีกครั้งบนพื้นผิวของสารตั้งต้นเพื่อสร้างผลึกเดี่ยว
4. การควบคุมอุณหภูมิ: ในระหว่างกระบวนการระเหิด จำเป็นต้องควบคุมการไล่ระดับอุณหภูมิและการกระจายอุณหภูมิอย่างแม่นยำ เพื่อส่งเสริมการระเหิดของแหล่งกำเนิดบล็อกและการเติบโตของผลึกเดี่ยว การควบคุมอุณหภูมิที่เหมาะสมสามารถบรรลุคุณภาพคริสตัลและอัตราการเติบโตที่เหมาะสมที่สุด
5. การควบคุมบรรยากาศ: ในระหว่างกระบวนการระเหิด จำเป็นต้องควบคุมบรรยากาศของปฏิกิริยาด้วย ก๊าซเฉื่อยที่มีความบริสุทธิ์สูง (เช่น อาร์กอน) มักจะใช้เป็นก๊าซพาหะเพื่อรักษาความดันและความบริสุทธิ์ที่เหมาะสม และป้องกันการปนเปื้อนจากสิ่งเจือปน
6. การเติบโตของผลึกเดี่ยว: แหล่งกำเนิดบล็อก CVD-SiC ผ่านการเปลี่ยนสถานะไอในระหว่างกระบวนการระเหิด และควบแน่นใหม่บนพื้นผิวของสารตั้งต้นเพื่อสร้างโครงสร้างผลึกเดี่ยว การเติบโตอย่างรวดเร็วของผลึกเดี่ยว SiC สามารถทำได้ผ่านสภาวะการระเหิดที่เหมาะสมและการควบคุมอุณหภูมิไล่ระดับ
ยินดีต้อนรับคุณอย่างอบอุ่นเพื่อเยี่ยมชมโรงงานของเรา มาพูดคุยกันเพิ่มเติม!
