ตัวรับถังกราไฟท์ Epitaxial Epi
ตัวรับถังกราไฟท์ Epitaxial Epiเป็นอุปกรณ์รองรับและอุปกรณ์ทำความร้อนที่ออกแบบมาเป็นพิเศษ ซึ่งใช้ในการยึดและให้ความร้อนแก่พื้นผิวเซมิคอนดักเตอร์ในระหว่างกระบวนการผลิต เช่น กระบวนการตกตะกอนหรือ Epitaxy
โครงสร้างโดยทั่วไปจะมีลักษณะเป็นทรงกระบอกหรือทรงกระบอกเล็กน้อย พื้นผิวมีช่องหรือแท่นหลายช่องสำหรับวางเวเฟอร์ อาจเป็นแบบแข็งหรือแบบกลวง ขึ้นอยู่กับวิธีการให้ความร้อน
หน้าที่หลักของตัวรับถัง epitaxis:
- การสนับสนุนพื้นผิว: จับเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์หลายตัวอย่างปลอดภัย
-แหล่งความร้อน: ให้อุณหภูมิสูงที่จำเป็นสำหรับการเจริญเติบโตโดยการให้ความร้อน
- ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิ: ช่วยให้มั่นใจได้ถึงความร้อนที่สม่ำเสมอของพื้นผิว
- การหมุน: มักจะหมุนระหว่างการเจริญเติบโตเพื่อปรับปรุงความสม่ำเสมอของอุณหภูมิและการกระจายก๊าซ
หลักการทำงานของตัวรับถังกราไฟท์ Epi:
- ในเครื่องปฏิกรณ์แบบเอพิแทกเซียล ตัวรับแบบบาร์เรลจะถูกให้ความร้อนจนถึงอุณหภูมิที่ต้องการ (โดยทั่วไปคือ 1,000°C-1200°C สำหรับซิลิคอนเอพิแทกซี)
- ตัวรับถังหมุนเพื่อให้แน่ใจว่ามีการกระจายอุณหภูมิและการไหลของก๊าซสม่ำเสมอ
-ก๊าซปฏิกิริยาสลายตัวที่อุณหภูมิสูง ก่อตัวเป็นชั้น epitaxial บนพื้นผิวของสารตั้งต้น
การใช้งาน:
-ใช้เป็นหลักสำหรับการเจริญเติบโตของซิลิคอนอีพิเทกเซียล
- สามารถใช้ได้กับ epitaxy ของวัสดุเซมิคอนดักเตอร์อื่นๆ เช่น GaAs, InP เป็นต้น
VET Energy ใช้กราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูงพร้อมการเคลือบ CVD-SiC เพื่อเพิ่มความเสถียรทางเคมี:
ข้อดีของ VET Energy Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor:
- เสถียรภาพที่อุณหภูมิสูง
- ความสม่ำเสมอทางความร้อนที่ดี
- สามารถประมวลผลหลายพื้นผิวพร้อมกัน ปรับปรุงประสิทธิภาพการผลิต
-เฉื่อยทางเคมี รักษาสภาพแวดล้อมการเจริญเติบโตที่มีความบริสุทธิ์สูง
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd เป็นองค์กรเทคโนโลยีขั้นสูงที่มุ่งเน้นการผลิตและจำหน่ายวัสดุขั้นสูงระดับไฮเอนด์ วัสดุและเทคโนโลยี รวมถึงกราไฟท์ ซิลิคอนคาร์ไบด์ เซรามิก การปรับสภาพพื้นผิว เช่น การเคลือบ SiC การเคลือบ TaC คาร์บอนแบบคล้ายแก้ว การเคลือบ, การเคลือบคาร์บอนไพโรไลติก ฯลฯ ผลิตภัณฑ์เหล่านี้ใช้กันอย่างแพร่หลายในเซลล์แสงอาทิตย์, เซมิคอนดักเตอร์, พลังงานใหม่, โลหะวิทยา ฯลฯ
ทีมเทคนิคของเรามาจากสถาบันวิจัยชั้นนำในประเทศ และได้พัฒนาเทคโนโลยีที่ได้รับการจดสิทธิบัตรมากมายเพื่อให้มั่นใจถึงประสิทธิภาพและคุณภาพของผลิตภัณฑ์ อีกทั้งยังสามารถให้บริการโซลูชั่นวัสดุระดับมืออาชีพแก่ลูกค้าได้
เรายินดีต้อนรับคุณอย่างอบอุ่นเข้าเยี่ยมชมห้องปฏิบัติการและโรงงานของเราเพื่อหารือและความร่วมมือทางเทคนิค!
