вет-чинро таъмин мекунад, ки хар як пойдорПадлҳои коркарди вафли кремний карбидикори аъло ва устуворй дорад. Ин бели коркарди вафли карбиди кремний равандҳои пешрафтаи истеҳсолиро истифода мебарад, то устувории сохторӣ ва фаъолияти он дар муҳитҳои ҳарорати баланд ва зангзании кимиёвӣ боқӣ монад. Ин тарҳи инноватсионӣ барои коркарди вафли нимноқилҳо, махсусан барои амалиёти автоматикунонидашудаи дақиқи баланд, дастгирии аъло фароҳам меорад.
Paddle Cantilever SiCяк ҷузъи махсусест, ки дар таҷҳизоти истеҳсоли нимноқилҳо, аз қабили кӯраи оксидшавӣ, кӯраи диффузӣ ва кӯраи гармкунӣ истифода мешавад, истифодаи асосӣ барои бор кардан ва борфарорӣ кардани вафли аст, вафлиҳоро ҳангоми равандҳои ҳарорати баланд дастгирӣ мекунад ва интиқол медиҳад.
Сохторҳои умумӣазSiCcзидди фишангpадл: сохтори кантилвер, ки дар як канораш собит ва дар канори дигар озод аст, маъмулан тарҳи ҳамвор ва белшакл дорад.
Кор карданpпринципазSiCcзидди фишангpадл:
Панели кантилвер метавонад дар дохили камераи танӯр ба боло ва поён ё ба пеш ва пас ҳаракат кунад, он метавонад барои интиқол додани вафлиҳо аз минтақаҳои боркунӣ ба минтақаҳои коркард ё берун аз минтақаҳои коркард истифода шавад, вафлиҳоро ҳангоми коркарди ҳарорати баланд дастгирӣ ва устувор кунад.
Хусусиятҳои физикии карбиди кремнийи дубора кристаллшуда | |
Амвол | Арзиши маъмулӣ |
Ҳарорати корӣ (°C) | 1600 ° C (бо оксиген), 1700 ° C (муҳитро коҳиш медиҳад) |
Мазмуни SiC | > 99,96% |
Мазмуни Si ройгон | < 0,1% |
Зичии масса | 2,60-2,70 г/см3 |
Порозияи намоён | < 16% |
Қувваи фишурдашавӣ | > 600 МПа |
Қувваи хамкунии сард | 80-90 МПа (20°C) |
Қувваи гармкунии гарм | 90-100 МПа (1400°C) |
Тавсеаи гармидиҳӣ @ 1500 ° C | 4.70 10-6/°С |
Қобилияти гармидиҳӣ @1200°C | 23 Вт/м•К |
Модули эластикӣ | 240 ГПа |
Муқовимат ба зарбаи гармидиҳӣ | Хеле хуб |