ПешрафтPaddle Cantilever SiCбарои Wafer Processing, ки аз ҷониби vet-china сохта шудааст, барои истеҳсоли нимноқилҳо ҳалли олӣ медиҳад. Ин бели кантилверӣ аз маводи SiC (карбиди кремний) сохта шудааст ва сахтӣ ва муқовимати гармии он ба он имкон медиҳад, ки дар ҳарорати баланд ва муҳити зангзананда кори аълоро нигоҳ дорад. Тарҳрезии Paddle Cantilever имкон медиҳад, ки вафли ҳангоми коркард боэътимод дастгирӣ карда, хатари порашавӣ ва вайроншавиро коҳиш диҳад.
Paddle Cantilever SiCяк ҷузъи махсусест, ки дар таҷҳизоти истеҳсоли нимноқилҳо, аз қабили кӯраи оксидшавӣ, кӯраи диффузӣ ва кӯраи гармкунӣ истифода мешавад, истифодаи асосӣ барои бор кардан ва борфарорӣ кардани вафли аст, вафлиҳоро ҳангоми равандҳои ҳарорати баланд дастгирӣ мекунад ва интиқол медиҳад.
Сохторҳои умумӣазSiCcзидди фишангpадл: сохтори кантилвер, ки дар як канораш собит ва дар канори дигар озод аст, маъмулан тарҳи ҳамвор ва белшакл дорад.
VET Energy барои кафолат додани сифат маводи карбиди кремнийи аз нав кристаллшудаи тозагии баландро истифода мебарад.
| Хусусиятҳои физикии карбиди кремнийи дубора кристаллшуда | |
| Амвол | Арзиши маъмулӣ |
| Ҳарорати корӣ (°C) | 1600 ° C (бо оксиген), 1700 ° C (муҳитро коҳиш медиҳад) |
| Мазмуни SiC | > 99,96% |
| Мазмуни Si ройгон | < 0,1% |
| Зичии масса | 2,60-2,70 г/см3 |
| Порозияи намоён | < 16% |
| Қувваи фишурдашавӣ | > 600МПа |
| Қувваи хамкунии сард | 80-90 МПа (20°C) |
| Қувваи гармкунии гарм | 90-100 МПа (1400°C) |
| Тавсеаи гармидиҳӣ @ 1500 ° C | 4.70 10-6/°С |
| Қобилияти гармидиҳӣ @1200°C | 23В/м•К |
| Модули эластикӣ | 240 ГПа |
| Муқовимат ба зарбаи гармидиҳӣ | Хеле хуб |
Бартариҳои VET Energy Advanced SiC Cantilever Paddle барои коркарди вафли инҳоянд:
- устувории ҳарорати баланд: дар муҳитҳои болотар аз 1600 ° C истифода мешавад;
-Коэффисиенти пасти васеъшавии гармӣ: устувории андозаро нигоҳ медорад ва хатари вайроншавии вафлиро коҳиш медиҳад;
-Тозагии баланд: хатари пасти олудашавии металл;
-Инертсияи химиявӣ: ба зангзанӣ тобовар, барои муҳити гуногуни газ мувофиқ;
-Қувват ва сахтии баланд: Ба фарсудашавӣ тобовар, мӯҳлати хизмати дароз;
-Кобилияти хуби гармӣ: ба гармкунии якхелаи вафли мусоидат мекунад.
