Paddle Advanced SiC Cantilever барои коркарди вафли

Тавсифи кӯтоҳ:

Advanced SiC Cantilever Paddle for Processing Wafer, ки аз ҷониби vet-china оғоз шудааст, барои баланд бардоштани самаранокӣ ва дақиқии коркарди вафель маводи баландтехнологии SiC-ро истифода мебарад. Панели кантилвери Vet-china дорои муқовимати аълои гармӣ ва муқовимат ба зангзанӣ буда, иҷрои устувори коркарди вафлиро дар муҳити сахти истеҳсолӣ таъмин мекунад ва онро барои беҳтар кардани ҳосили истеҳсолот интихоби беҳтарин месозад.

Ба мо почтаи электронӣ фиристед Ҳамчун PDF зеркашӣ кунед

Тафсилоти маҳсулот

Тегҳои маҳсулот

ПешрафтPaddle Cantilever SiCбарои Wafer Processing, ки аз ҷониби vet-china сохта шудааст, барои истеҳсоли нимноқилҳо ҳалли олӣ медиҳад. Ин бели кантилверӣ аз маводи SiC (карбиди кремний) сохта шудааст ва сахтӣ ва муқовимати гармии он ба он имкон медиҳад, ки дар ҳарорати баланд ва муҳити зангзананда кори аълоро нигоҳ дорад. Тарҳрезии Paddle Cantilever имкон медиҳад, ки вафли ҳангоми коркард боэътимод дастгирӣ карда, хатари порашавӣ ва вайроншавиро коҳиш диҳад.

Paddle Cantilever SiCяк ҷузъи махсусест, ки дар таҷҳизоти истеҳсоли нимноқилҳо, аз қабили кӯраи оксидшавӣ, кӯраи диффузионӣ ва кӯраи гармкунӣ истифода мешавад, истифодаи асосӣ барои бор кардан ва борфарорӣ кардани вафель мебошад, вафлиҳоро ҳангоми равандҳои ҳарорати баланд дастгирӣ мекунад ва интиқол медиҳад.

Сохторҳои умумӣазSiCcзидди фишангpадл: сохтори кантилвер, ки дар як канораш собит ва дар канори дигар озод аст, маъмулан тарҳи ҳамвор ва белшакл дорад.

VET Energy барои кафолат додани сифат маводи карбиди кремнийи аз нав кристаллшудаи тозагии баландро истифода мебарад.

Хусусиятҳои физикии карбиди кремнийи дубора кристаллшуда
Амвол	Арзиши маъмулӣ
Ҳарорати корӣ (°C)	1600 ° C (бо оксиген), 1700 ° C (муҳитро коҳиш медиҳад)
Мазмуни SiC	> 99,96%
Мазмуни Si ройгон	< 0,1%
Зичии масса	2,60-2,70 г/см³
Порозияи намоён	< 16%
Қувваи фишурдашавӣ	> 600МПа
Қувваи хамкунии сард	80-90 МПа (20°C)
Қувваи гармкунии гарм	90-100 МПа (1400°C)
Тавсеаи гармидиҳӣ @ 1500 ° C	4.70 10^-6/°С
Қобилияти гармидиҳӣ @1200°C	23В/м•К
Модули эластикӣ	240 ГПа
Муқовимат ба зарбаи гармидиҳӣ	Хеле хуб