Пеш аз ҳама, мо бояд донемPECVD(Таҳвили буғҳои кимиёвии пурқувватшудаи плазма). Плазма интенсификатсияи ҳаракати гармии молекулаҳои моддӣ мебошад. Бархӯрди байни онҳо боиси ионизатсия шудани молекулаҳои газ мегардад ва мавод ба омехтаи ионҳои мусбати озод ҳаракаткунанда, электронҳо ва зарраҳои нейтралӣ табдил меёбад, ки бо ҳамдигар амал мекунанд.
Тахмин меравад, ки суръати талафоти инъикоси нур дар сатҳи кремний тақрибан 35% зиёд аст. Плёнкаи зидди инъикос метавонад суръати истифодаи нури офтобиро аз ҷониби ҳуҷайраи батарея хеле беҳтар кунад, ки ба зиёд шудани зичии ҷараёни фотогенератсионӣ ва ба ин васила самаранокии табдилдиҳӣ мусоидат мекунад. Дар айни замон, гидроген дар плёнка сатҳи ҳуҷайраи батареяро пассив мекунад, суръати рекомбинатсияи рӯизаминии гузариши эмитентро коҳиш медиҳад, ҷараёни торикро коҳиш медиҳад, шиддати занҷираи кушодро зиёд мекунад ва самаранокии табдили фотоэлектрикро беҳтар мекунад. Табдилдиҳии фаврии ҳарорати баланд дар ҷараёни сӯхтан баъзе пайвандҳои Si-H ва NH-ро мешиканад ва H озодшуда пассиватсияи батареяро боз ҳам мустаҳкам мекунад.
Азбаски маводи кремнийи дараҷаи фотоэлектрикӣ ҳатман миқдори зиёди ифлосиҳо ва нуқсонҳоро дар бар мегирад, мӯҳлати интиқоли ақаллиятҳо ва дарозии диффузия дар кремний кам мешавад, ки дар натиҷа самаранокии табдилдиҳии батарея кам мешавад. H метавонад бо нуқсонҳо ё ифлосиҳо дар кремний вокуниш нишон диҳад ва ба ин васила банди энергетикиро дар банд ба банди валентӣ ё банди ноқилӣ интиқол диҳад.
1. Принсипи PECVD
Системаи PECVD як қатор генераторҳоест, ки истифода мебарандКиштии графити PECVD ва ангезандаҳои плазмаи баландбасомад. Генератори плазма бевосита дар мобайни лавҳаи пӯшиш насб карда мешавад, то дар зери фишори паст ва ҳарорати баланд реаксия кунад. Газҳои фаъол истифодашаванда силан SiH4 ва аммиак NH3 мебошанд. Ин газҳо ба нитриди кремний, ки дар пластинкаи кремний нигоҳ дошта мешаванд, амал мекунанд. Бо рохи тагйир додани таносуби силан ба аммиак нишондихандахои гуногуни рефракционй ба даст овардан мумкин аст. Дар ҷараёни таҳшин, миқдори зиёди атомҳои гидроген ва ионҳои гидроген тавлид мешаванд, ки пассиватсияи гидрогени вафлиро хеле хуб мекунанд. Дар вакуум ва ҳарорати муҳити зисти 480 дараҷа, қабати SixNy дар рӯи пластинкаи кремний бо роҳи гузарондани коркард фаро гирифта мешавад.Киштии графити PECVD.
3SiH4+4NH3 → Si3N4+12H2
2. Si3N4
Ранги филми Si3N4 бо ғафсӣ тағйир меёбад. Умуман, ғафсии идеалӣ аз 75 то 80 нм аст, ки кабуди торик ба назар мерасад. Индекси шикастани филми Si3N4 аз 2,0 то 2,5 беҳтар аст. Алкогол одатан барои чен кардани шохиси шикастани он истифода мешавад.
Таъсири аълои пассиватсияи рӯизаминӣ, иҷрои самараноки зидди инъикоси оптикӣ (мувофиқ будани шохиси шикастани ғафсӣ), раванди пасти ҳарорати (самаранок кам кардани хароҷот) ва ионҳои H тавлидшуда сатҳи вафли кремнийро пассив мекунанд.
3. Масъалахои маъмул дар цехи рангуборкунй
Ғафсии филм:
Вақти ҷойгиркунӣ барои ғафсии филмҳои гуногун гуногун аст. Мӯҳлати гузоштан бояд мувофиқи ранги рӯйпӯш ба таври мувофиқ зиёд ё кам карда шавад. Агар филм сафедтар бошад, вақти пошидан бояд кам карда шавад. Агар он сурх бошад, он бояд ба таври мувофиқ зиёд карда шавад. Хар як киштии плёнка бояд пурра тасдик карда шавад ва махсулоти брак ба процесси оянда рох дода нашавад. Масалан, агар рӯйпӯш камбизоат бошад, ба монанди доғҳои ранг ва аломатҳои обӣ, сафедкуниҳои маъмултарини рӯи замин, фарқияти ранг ва доғҳои сафед дар хати истеҳсолӣ бояд сари вақт интихоб карда шаванд. Сафедкунии рӯизаминӣ асосан аз филми ғафси нитриди кремний ба вуҷуд меояд, ки онро тавассути танзими вақти ҷойгиркунии филм танзим кардан мумкин аст; филми фарқияти ранг асосан аз баста шудани роҳи газ, ихроҷи найҳои кварц, шикасти печи микроволновка ва ғайра ба вуҷуд меояд; доғҳои сафед асосан аз доғҳои хурди сиёҳ дар раванди қаблӣ пайдо мешаванд. Мониторинги инъикоси инъикос, нишондиҳандаи рефраксия ва ғайра, бехатарии газҳои махсус ва ғайра.
Доғҳои сафед дар рӯи:
PECVD як раванди нисбатан муҳим дар ҳуҷайраҳои офтобӣ ва нишондиҳандаи муҳими самаранокии ҳуҷайраҳои офтобии ширкат мебошад. Раванди PECVD умуман банд аст ва ҳар як партияи ҳуҷайраҳоро назорат кардан лозим аст. Бисёр қубурҳои печи пӯшиш мавҷуданд ва ҳар як қубур умуман садҳо ҳуҷайра дорад (вобаста ба таҷҳизот). Пас аз тағир додани параметрҳои раванд, давраи санҷиш дароз аст. Технологияи рӯйпӯшкунӣ технологияест, ки тамоми саноати фотоэлектрикӣ ба он аҳамияти калон медиҳад. Самаранокии ҳуҷайраҳои офтобиро тавассути такмил додани технологияи пӯшиш беҳтар кардан мумкин аст. Дар оянда технологияи рӯизаминии ҳуҷайраҳои офтобӣ метавонад як пешрафт дар самаранокии назариявии ҳуҷайраҳои офтобӣ гардад.
Вақти интишор: Декабр-23-2024