Чӣ тавр тоза кардани киштии графити PECVD？| Энергетикаи VET

1. Эътироф пеш аз тоза кардан

1) Вақте киКиштии графити PECVD/баранда зиёда аз 100 то 150 маротиба истифода мешавад, оператор бояд ҳолати рӯйпӯшро сари вақт тафтиш кунад. Агар рӯйпӯши ғайримуқаррарӣ мавҷуд бошад, онро тоза кардан ва тасдиқ кардан лозим аст. Ранги муқаррарии пӯшиши вафли кремний дар қаиқ/барандаи графит кабуд аст. Агар вафли кабуд, рангҳои гуногун дошта бошад ё фарқияти ранг байни вафлиҳо калон бошад, он як қабати ғайримуқаррарӣ аст ва сабаби нооромиро сари вақт тасдиқ кардан лозим аст.
2) Пас аз анҷоми раванд, кормандон ҳолати рӯйпӯшро таҳлил мекунандКиштии графити PECVD/баранда, онхо муайян мекунанд, ки киштии графитй бояд тоза карда шавад ва ё не, ки нуктаи кортро иваз кардан лозим аст ё не ва киштии графит, ки бояд тоза карда шавад, барои тоза кардан ба кормандони тачхизот дода мешавад.

 

3) Баъд азкиштии графитй/ интиқолдиҳанда осеб дидааст, кормандони истеҳсолӣ тамоми пластинаҳои кремнийро дар қаиқи графитӣ мебароранд ва CDA (ҳавои фишурда) -ро барои ҷудо кардани пораҳо даркиштии графитй. Пас аз анҷоми кор, кормандони таҷҳизот онро ба зарфи кислота, ки бо миқдори муайяни маҳлули HF барои тозакунӣ омода карда шудааст, мебардоранд.

 

2. Тоза кардани киштии графитӣ

Тавсия дода мешавад, ки махлули 15-25% кислотаи гидрофторидро барои се даври тозакунӣ, ки ҳар кадом барои 4-5 соат ва давра ба давра азотро дар вақти тар кардан ва тоза кардан истифода бурда, тақрибан ним соат тоза кардан лозим аст; Эзоҳ: тавсия дода намешавад, ки ҳаво мустақиман ҳамчун манбаи газ барои футуршавӣ истифода шавад. Пас аз хӯрдан, тақрибан 10 соат бо оби соф бишӯед ва тасдиқ кунед, ки киштӣ ҳамаҷониба тоза карда шудааст. Пас аз тоза кардан, лутфан сатҳи қаиқ, нуқтаи корти графитӣ ва пайванди варақи киштӣ ва дигар қисмҳоро тафтиш кунед, то бубинед, ки оё ягон пасмондаи нитриди кремний вуҷуд дорад. Баъд мувофики талабот хушконед.

3. Тадбирҳои эҳтиётӣ оид ба тозакунӣ

A) Азбаски кислотаи HF моддаи хеле зангзананда буда, ноустувории муайян дорад, барои операторон хатарнок аст. Аз ин рӯ, операторони пости тозакунӣ бояд чораҳои бехатариро бинанд ва аз ҷониби шахси махсус идора карда шаванд.

B) Тавсия дода мешавад, ки қаиқро ҷудо кунед ва ҳангоми тозакунӣ танҳо қисми графитро тоза кунед, то ки ҳар як қисми тамос бодиққат тоза карда шавад. Дар айни замон, бисёре аз истеҳсолкунандагони ватанӣ тозакунии умумиро истифода мебаранд, ки ин қулай аст, аммо азбаски кислотаи HF ба қисмҳои сафолӣ занг мезанад, тозакунии умумӣ мӯҳлати хизмати қисмҳои мувофиқро кӯтоҳ мекунад.