Ҳассосияти баррел барои эпитаксияи фазаи моеъ LPE
EPI (Эпитаксия)процесси му-хим дар истехсоли нимнокилхои мукаммал мебошад. Он гузоштани қабатҳои тунуки маводро дар субстрат барои сохтани сохторҳои мураккаби дастгоҳ дар бар мегирад. Ҳабси баррели графитӣ бо SiC барои EPI бо сабаби гузариши аълои гармӣ ва муқовимат ба ҳарорати баланд одатан ҳамчун ҳасбкунандаҳо дар реакторҳои EPI истифода мешавад. БоСарпӯши CVD-SiC, он ба ифлосшавӣ, эрозия ва зарбаи гармӣ тобовартар мешавад. Ин боиси умри дарозтари ҳассосият ва беҳтар шудани сифати филм мегардад.
Афзалиятҳои ҳассосияти баррели мо барои эпитаксияи фазаи моеъ LPE:
Камшавии ифлосшавӣ:Табиати ғайрифаъолияти SiC аз часпидани ифлосиҳо ба сатҳи ҳассосият пешгирӣ карда, хатари олудашавии филмҳои гузошташударо коҳиш медиҳад.
Муқовимат ба эрозия:SiC нисбат ба графити муқаррарӣ ба эрозия тобовартар аст, ки боиси дароз шудани умри ҳассосият мегардад.
Устувории беҳтаршудаи гармӣ:SiC дорои қобилияти хуби гармӣ мебошад ва метавонад ба ҳарорати баланд бидуни таҳрифи назаррас тоб оварад.
Сифати беҳтаршудаи филм:Муқовимати гармидиҳии беҳтар ва ифлосшавии камшуда боиси баланд шудани филмҳои гузошташуда бо беҳтар шудани якрангӣ ва ғафсӣ мегардад.
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd як корхонаи баландтехнологӣ мебошад, ки ба истеҳсол ва фурӯши маводи пешрафтаи олӣ, мавод ва технология, аз ҷумла графит, карбиди кремний, сафол, коркарди рӯизаминӣ ба монанди молидани SiC, молидани TaC, карбон шишагӣ нигаронида шудааст. пӯшиш, қабати карбон пиролитикӣ ва ғайра, ин маҳсулот дар фотоэлектрикӣ, нимноқилҳо, энергетикаи нав, металлургия ва ғайра васеъ истифода мешаванд.
Дастаи техникии мо аз муассисаҳои олии тадқиқотии ватанӣ меояд ва технологияҳои сершумори патентиро барои таъмини кор ва сифати маҳсулот таҳия кардааст, инчунин метавонад ба мизоҷон ҳалли моддии касбиро пешниҳод кунад.
Мо шуморо самимона истиқбол мекунем, ки ба лаборатория ва заводи мо барои муҳокимаи техникӣ ва ҳамкорӣ ташриф оред!