Сусептори баррел эпитаксиалии эпи графити
Сусептори баррел эпитаксиалии эпи графитияк дастгоҳи махсус тарҳрезишуда ва гармидиҳӣ мебошад, ки барои нигоҳдорӣ ва гарм кардани субстратҳои нимноқил ҳангоми равандҳои истеҳсолӣ, ба монанди равандҳои депозитсия ё эпитаксия истифода мешавад.
Сохтори он маъмулан силиндрӣ ё каме бочкашакл буда, дорои хусусиятҳои рӯизаминӣ якчанд ҷайбҳо ё платформаҳо барои ҷойгир кардани вафлиҳо мебошад, вобаста ба усули гармидиҳӣ метавонад тарҳи сахт ё холӣ бошад.
Вазифаҳои асосии ҳассосияти баррел эпитаксиалӣ:
-Дастгирии субстрат: вафли чанд нимноқилро бехатар нигоҳ медорад;
-Манбаи гармӣ: ҳарорати баландро барои афзоиш тавассути гармкунӣ таъмин мекунад;
-Ягонагии њарорат: гармшавии якхелаи субстратњоро таъмин мекунад;
-Ротатсия: одатан ҳангоми афзоиш барои беҳтар кардани якрангии ҳарорат ва тақсимоти газ давр мезанад.
Принсипи кори ҳассосияти баррели графитӣ:
- Дар реактори эпитаксиалӣ, ҳассосияти бочка то ҳарорати зарурӣ гарм карда мешавад (одатан 1000℃-1200℃ барои эпитаксияи кремний);
-Ссептори баррел барои таъмини тақсимоти якхелаи ҳарорат ва ҷараёни газ давр мезанад;
-Газҳои реактивӣ дар ҳарорати баланд таҷзия шуда, дар сатҳи субстрат қабатҳои эпитаксиалӣ ба вуҷуд меоянд.
Барномаҳо:
-Асосан барои афзоиши эпитаксиали кремний истифода мешавад
-Инчунин барои эпитаксияи дигар маводи нимноқил ба монанди GaAs, InP ва ғайра татбиқ мешавад.
VET Energy барои баланд бардоштани устувории кимиёвӣ графити тозаи баландро бо рӯйпӯши CVD-SiC истифода мебарад:
Бартариҳои VET Energy Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor:
- устувории ҳарорати баланд;
- якрангии хуби гармӣ;
-Метавонад дар як вақт якчанд субстратҳоро коркард карда, самаранокии истеҳсолотро баланд бардорад;
-Аз ҷиҳати кимиёвӣ ғайрифаъол, нигоҳ доштани муҳити тозагии баланд.
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd як корхонаи баландтехнологӣ мебошад, ки ба истеҳсол ва фурӯши маводи пешрафтаи олӣ, мавод ва технология, аз ҷумла графит, карбиди кремний, сафол, коркарди рӯизаминӣ ба монанди молидани SiC, молидани TaC, карбон шишагӣ нигаронида шудааст. пӯшиш, қабати пиролитикии карбон ва ғайра, ин маҳсулот дар фотоэлектрикӣ, нимноқилҳо, энергетикаи нав, металлургия ва ғайра васеъ истифода мешаванд.
Дастаи техникии мо аз муассисаҳои олии тадқиқотии ватанӣ меояд ва технологияҳои сершумори патентиро барои таъмини кор ва сифати маҳсулот таҳия кардааст, инчунин метавонад ба мизоҷон ҳалли моддии касбиро пешниҳод кунад.
Мо шуморо самимона истиқбол мекунем, ки ба лаборатория ва заводи мо барои муҳокимаи техникӣ ва ҳамкорӣ ташриф оред!
