PECVD ஏற்றுதல் தட்டு வைப்பு கிராஃபைட் தட்டு

VET எனர்ஜி PECVD ஏற்றுதல் தட்டு என்பது PECVD (பிளாஸ்மா மேம்படுத்தப்பட்ட இரசாயன நீராவி படிவு) செயல்முறைக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு துல்லியமான கேரியர் ஆகும். இந்த உயர்தர படிவு கிராஃபைட் தட்டு உயர் தூய்மை, அதிக அடர்த்தி கொண்ட கிராஃபைட் பொருட்களால் ஆனது. இது சிறந்த உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, அரிப்பு எதிர்ப்பு, பரிமாண நிலைத்தன்மை மற்றும் பிற பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது. இது PECVD செயல்முறைக்கு ஒரு நிலையான கேரியர் தளத்தை வழங்குவதோடு, ஃபிலிம் படிவுகளின் சீரான தன்மையையும் சமதளத்தையும் உறுதிப்படுத்துகிறது.

VET எனர்ஜி PECVD ஏற்றுதல் தட்டுக்கள் குறைக்கடத்தி, ஒளிமின்னழுத்தம், LED மற்றும் பிற துறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. உதாரணமாக:

▪ செமிகண்டக்டர்: சிலிக்கான் செதில்கள் மற்றும் எபிடாக்சியல் வேஃபர்கள் போன்ற குறைக்கடத்தி பொருட்களுக்கான PECVD செயல்முறை.

▪ ஒளிமின்னழுத்தம்: சூரிய மின்கல மெல்லிய படலங்களுக்கான PECVD செயல்முறை.

▪ LED: LED சில்லுகளுக்கான PECVD செயல்முறை.

தயாரிப்பு நன்மைகள்

▪படத்தின் தரத்தை மேம்படுத்த:சீரான படத்தொகுப்பை உறுதிசெய்து, படத்தின் தரத்தை மேம்படுத்தவும்.

▪உபகரண ஆயுளை நீட்டிக்கவும்:சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பு, PECVD உபகரணங்களின் சேவை ஆயுளை நீட்டிக்கும்.

▪உற்பத்தி செலவைக் குறைக்க:உயர்தர கிராஃபைட் தட்டுகள் ஸ்கிராப் வீதத்தைக் குறைத்து உற்பத்திச் செலவைக் குறைக்கும்.