VET எனர்ஜி PECVD செயல்முறை கிராஃபைட் செதில் ஆதரவு என்பது PECVD (பிளாஸ்மா மேம்படுத்தப்பட்ட இரசாயன நீராவி படிவு) செயல்முறைக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு முக்கிய நுகர்வு ஆகும். இந்த தயாரிப்பு உயர்-தூய்மை, அதிக அடர்த்தி கொண்ட கிராஃபைட் பொருட்களால் ஆனது, சிறந்த உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, அரிப்பு எதிர்ப்பு, பரிமாண நிலைத்தன்மை மற்றும் பிற குணாதிசயங்கள், PECVD செயல்முறைக்கு ஒரு நிலையான ஆதரவு தளத்தை வழங்க முடியும், இது பட படிவுகளின் சீரான தன்மை மற்றும் சமதளத்தை உறுதிப்படுத்துகிறது.
VET எனர்ஜி கிராஃபைட் வேஃபர் ஆதரவின் "கிராஃபைட் ஆதரவு" வடிவமைப்பு செதில்களை திறம்பட ஆதரிப்பது மட்டுமல்லாமல், செயல்முறையின் நிலைத்தன்மையை உறுதிசெய்ய அதிக வெப்பநிலை மற்றும் உயர் அழுத்த PECVD சூழலில் வெப்ப நிலைத்தன்மையையும் வழங்குகிறது.
VET எனர்ஜி PECVD செயல்முறை கிராஃபைட் செதில் ஆதரவு பின்வரும் பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது:
▪உயர் தூய்மை:மிகக் குறைந்த தூய்மையற்ற உள்ளடக்கம், படத்தின் தரத்தை உறுதிப்படுத்த, படத்தின் மாசுபாட்டைத் தவிர்க்கவும்.
▪அதிக அடர்த்தி:அதிக அடர்த்தி, அதிக இயந்திர வலிமை, அதிக வெப்பநிலை மற்றும் உயர் அழுத்த PECVD சூழலை தாங்கும்.
▪நல்ல பரிமாண நிலைத்தன்மை:உயர் வெப்பநிலையில் சிறிய பரிமாண மாற்றங்கள் செயல்முறையின் நிலைத்தன்மையை உறுதிப்படுத்துகின்றன.
▪சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன்:செதில் அதிக வெப்பமடைவதைத் தடுக்க வெப்பத்தை திறம்பட மாற்றுகிறது.
▪வலுவான அரிப்பு எதிர்ப்பு:பல்வேறு அரிக்கும் வாயுக்கள் மற்றும் பிளாஸ்மாவால் அரிப்பை எதிர்க்கும் திறன் கொண்டது.
▪தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சேவை:பல்வேறு அளவுகள் மற்றும் வடிவங்களின் கிராஃபைட் ஆதரவு அட்டவணைகள் வாடிக்கையாளர் தேவைகளுக்கு ஏற்ப தனிப்பயனாக்கலாம்.
SGL இலிருந்து கிராஃபைட் பொருள்:
வழக்கமான அளவுரு: R6510 | |||
குறியீட்டு | சோதனை தரநிலை | மதிப்பு | அலகு |
சராசரி தானிய அளவு | ISO 13320 | 10 | μm |
மொத்த அடர்த்தி | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | கிராம்/செ.மீ3 |
திறந்த போரோசிட்டி | DIN66133 | 10 | % |
நடுத்தர துளை அளவு | DIN66133 | 1.8 | μm |
ஊடுருவக்கூடிய தன்மை | DIN 51935 | 0.06 | செமீ²/வி |
ராக்வெல் கடினத்தன்மை HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
குறிப்பிட்ட மின் எதிர்ப்பு | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
நெகிழ்வு வலிமை | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
அமுக்க வலிமை | DIN 51910 | 130 | MPa |
இளம் மாடுலஸ் | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
வெப்ப விரிவாக்கம்(20-200℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
வெப்ப கடத்துத்திறன் (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
இது குறிப்பாக உயர் திறன் கொண்ட சூரிய மின்கல உற்பத்திக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, G12 பெரிய அளவிலான செதில் செயலாக்கத்தை ஆதரிக்கிறது. உகந்த கேரியர் வடிவமைப்பு செயல்திறனை கணிசமாக அதிகரிக்கிறது, அதிக மகசூல் விகிதங்கள் மற்றும் குறைந்த உற்பத்தி செலவுகளை செயல்படுத்துகிறது.
பொருள் | வகை | எண் வேஃபர் கேரியர் |
PEVCD Grephite படகு - 156 தொடர் | 156-13 கிராஃபைட் படகு | 144 |
156-19 கிராஃபைட் படகு | 216 | |
156-21 கிராஃபைட் படகு | 240 | |
156-23 கிராஃபைட் படகு | 308 | |
PEVCD Grephite படகு - 125 தொடர் | 125-15 கிராஃபைட் படகு | 196 |
125-19 கிராஃபைட் படகு | 252 | |
125-21 கிராஃபைட் படகு | 280 |