PECVDக்கான கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு வேஃபர் ஹோல்டர்

VET எனர்ஜி கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு வேஃபர் ஹோல்டர் என்பது PECVD (பிளாஸ்மா மேம்படுத்தப்பட்ட இரசாயன நீராவி படிவு) செயல்முறைக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு துல்லியமான கேரியர் ஆகும். இந்த உயர்தர கிராஃபைட் சப்ஸ்ட்ரேட் ஹோல்டர் உயர்-தூய்மை, அதிக அடர்த்தி கொண்ட கிராஃபைட் பொருட்களால் ஆனது, சிறந்த உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, அரிப்பு எதிர்ப்பு, பரிமாண நிலைத்தன்மை மற்றும் பிற குணாதிசயங்களுடன். இது PECVD செயல்முறைக்கு ஒரு நிலையான ஆதரவு தளத்தை வழங்குவதோடு, படப் படிவின் சீரான தன்மையையும் சமதளத்தையும் உறுதிப்படுத்துகிறது.

VET எனர்ஜி PECVD செயல்முறை கிராஃபைட் செதில் ஆதரவு அட்டவணை பின்வரும் பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது:

▪உயர் தூய்மை:மிகக் குறைந்த தூய்மையற்ற உள்ளடக்கம், படத்தின் மாசுபாட்டைத் தவிர்க்கவும், படத்தின் தரத்தை உறுதிப்படுத்தவும்.

▪அதிக அடர்த்தி:அதிக அடர்த்தி, அதிக இயந்திர வலிமை, அதிக வெப்பநிலை மற்றும் உயர் அழுத்த PECVD சூழலை தாங்கும்.

▪நல்ல பரிமாண நிலைத்தன்மை:அதிக வெப்பநிலையில் சிறிய பரிமாண மாற்றம், செயல்முறை நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.

▪சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன்:செதில் அதிக வெப்பமடைவதைத் தடுக்க வெப்பத்தை திறம்பட மாற்றுகிறது.

▪வலுவான அரிப்பு எதிர்ப்பு:பல்வேறு அரிக்கும் வாயுக்கள் மற்றும் பிளாஸ்மாவால் அரிப்பை எதிர்க்க முடியும்.

▪தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சேவை:வெவ்வேறு அளவுகள் மற்றும் வடிவங்களின் கிராஃபைட் ஆதரவு அட்டவணைகள் வாடிக்கையாளர் தேவைகளுக்கு ஏற்ப தனிப்பயனாக்கலாம்.

தயாரிப்பு நன்மைகள்

▪படத்தின் தரத்தை மேம்படுத்த:சீரான படத்தொகுப்பை உறுதிசெய்து, படத்தின் தரத்தை மேம்படுத்தவும்.

▪உபகரண ஆயுளை நீட்டிக்கவும்:சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பு, PECVD உபகரணங்களின் சேவை ஆயுளை நீட்டிக்கும்.

▪உற்பத்தி செலவைக் குறைக்க:உயர்தர கிராஃபைட் தட்டுகள் ஸ்கிராப் வீதத்தைக் குறைத்து உற்பத்திச் செலவைக் குறைக்கும்.