ProduktDskrift
Kiselkarbid Wafer Boat används ofta som waferhållare i högtemperaturdiffusionsprocesser.
Fördelar:
Hög temperaturbeständighet:normal användning vid 1800 ℃
Hög värmeledningsförmåga:motsvarande grafitmaterial
Hög hårdhet:hårdhet näst efter diamant, bornitrid
Korrosionsbeständighet:stark syra och alkali har ingen korrosion, korrosionsbeständigheten är bättre än volframkarbid och aluminiumoxid
Lätt vikt:låg densitet, nära aluminium
Ingen deformation: låg värmeutvidgningskoefficient
Motståndskraft mot termisk stöt:den tål skarpa temperaturförändringar, motstår termiska stötar och har stabil prestanda
Fysiska egenskaper hos SiC
| Egendom | Värde | Metod |
| Densitet | 3,21 g/cc | Sink-float och dimension |
| Specifik värme | 0,66 J/g °K | Pulserande laserblixt |
| Böjhållfasthet | 450 MPa560 MPa | 4-punktsböj, RT4-punktsböj, 1300° |
| Frakturseghet | 2,94 MPa m1/2 | Mikroindragning |
| Hårdhet | 2800 | Vicker's, 500g last |
| Elastic Modulus Youngs Modulus | 450 GPa430 GPa | 4 pt böj, RT4 pt böj, 1300 °C |
| Kornstorlek | 2 – 10 µm | SEM |
Termiska egenskaper hos SiC
| Värmeledningsförmåga | 250 W/m °K | Laserblixtmetod, RT |
| Termisk expansion (CTE) | 4,5 x 10-6 °K | Rumstemperatur till 950 °C, kiseldioxiddilatometer |
