CVD kiselkarbidbelagd grafitring

Kort beskrivning:

VET Energy kiselkarbidbelagd grafitring är en högpresterande produkt designad för att ge konsekvent och pålitlig prestanda under en längre period. Den har superbra värmebeständighet och termisk enhetlighet, hög renhet, erosionsbeständighet, vilket gör den till den perfekta lösningen för waferbearbetningstillämpningar.


Produktdetaljer

Produkttaggar

Typiska egenskaper för basgrafitmaterial:

Skenbar densitet: 1,85 g/cm3
Elektrisk resistivitet: 11 μΩm
Böjstyrka: 49 MPa (500 kgf/cm2)
Shore hårdhet: 58
Aska: <5 ppm
Värmeledningsförmåga: 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

Vi levererar olika susceptorer och grafitkomponenter till alla nuvarande epitaxireaktorer. Våra produkter inkluderar tunna susceptorer för LPE-enheter, pannkakssusceptorer för LPE-, CSD- och Gemini-enheter och enkelwafer-susceptorer för applicerade och ASM-enheter.

Genom att kombinera starka partnerskap med ledande OEM-tillverkare, materialexpertis och tillverkningskunnande, erbjuder vet den optimala designen för din applikation.

3

VET Energy är deverklig tillverkare av skräddarsydda grafit- och kiselkarbidprodukter med CVD-beläggning,kan levereraolikakundanpassade delar för halvledar- och solcellsindustrin. Our tekniska team kommer från topp inhemska forskningsinstitutioner, kan tillhandahålla mer professionella materiallösningarför dig.

Fegenskaper hos våra produkter:

1. Högtemperaturoxidationsbeständighet upp till 1700.
2. Hög renhet ochtermisk enhetlighet
3. Utmärkt korrosionsbeständighet: syra, alkali, salt och organiska reagenser.
4. Hög hårdhet, kompakt yta, fina partiklar.
5. Längre livslängd och mer hållbar

CVD SiC薄膜基本物理性能

Grundläggande fysikaliska egenskaper hos CVD SiCbeläggning

性质 / Fastighet

典型数值 / Typiskt värde

晶体结构 / Kristallstruktur

FCC β-fas多晶,主要为(111)取向

密度 / Densitet

3,21 g/cm³

硬度 / Hårdhet

2500 维氏硬度(500g last)

晶粒大小 / kornstorlek

2~10μm

纯度 / Kemisk renhet

99,99995 %

热容 / Värmekapacitet

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Sublimeringstemperatur

2700℃

抗弯强度 / Flexural Strength

415 MPa RT 4-punkts

杨氏模量 / Young's Modulus

430 Gpa 4pt böj, 1300℃

导热系数 / ThermalLedningsförmåga

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Termisk expansion (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

Varmt välkommen att besöka vår fabrik, låt oss diskutera vidare!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • Tidigare:
  • Nästa:

  • WhatsApp onlinechatt!