Typiska egenskaper för basgrafitmaterial:
Skenbar densitet: | 1,85 g/cm3 |
Elektrisk resistivitet: | 11 μΩm |
Böjstyrka: | 49 MPa (500 kgf/cm2) |
Shore hårdhet: | 58 |
Aska: | <5 ppm |
Värmeledningsförmåga: | 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃) |
Vi levererar olika susceptorer och grafitkomponenter till alla nuvarande epitaxireaktorer. Våra produkter inkluderar tunna susceptorer för LPE-enheter, pannkakssusceptorer för LPE-, CSD- och Gemini-enheter och enkelwafer-susceptorer för applicerade och ASM-enheter.
Genom att kombinera starka partnerskap med ledande OEM-tillverkare, materialexpertis och tillverkningskunnande, erbjuder vet den optimala designen för din applikation.
VET Energy är deverklig tillverkare av skräddarsydda grafit- och kiselkarbidprodukter med CVD-beläggning,kan levereraolikakundanpassade delar för halvledar- och solcellsindustrin. Our tekniska team kommer från topp inhemska forskningsinstitutioner, kan tillhandahålla mer professionella materiallösningarför dig.
Fegenskaper hos våra produkter:
1. Högtemperaturoxidationsbeständighet upp till 1700℃.
2. Hög renhet ochtermisk enhetlighet
3. Utmärkt korrosionsbeständighet: syra, alkali, salt och organiska reagenser.
4. Hög hårdhet, kompakt yta, fina partiklar.
5. Längre livslängd och mer hållbar
CVD SiC薄膜基本物理性能 Grundläggande fysikaliska egenskaper hos CVD SiCbeläggning | |
性质 / Fastighet | 典型数值 / Typiskt värde |
晶体结构 / Kristallstruktur | FCC β-fas多晶,主要为(111)取向 |
密度 / Densitet | 3,21 g/cm³ |
硬度 / Hårdhet | 2500 维氏硬度(500g last) |
晶粒大小 / kornstorlek | 2~10μm |
纯度 / Kemisk renhet | 99,99995 % |
热容 / Värmekapacitet | 640 J·kg-1·K-1 |
升华温度 / Sublimeringstemperatur | 2700 ℃ |
抗弯强度 / Flexural Strength | 415 MPa RT 4-punkts |
杨氏模量 / Young's Modulus | 430 Gpa 4pt böj, 1300℃ |
导热系数 / ThermalLedningsförmåga | 300W·m-1·K-1 |
热膨胀系数 / Termisk expansion (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Varmt välkommen att besöka vår fabrik, låt oss diskutera vidare!