SiC palapis grafit MOCVD Wafer Carriers Susceptors

SiC Coating Grafit MOCVD Wafer Carriers Susceptors Featured Image

Katerangan pondok:

VET Energy SiC Coated MOCVD Susceptor for Epitaxial Growth mangrupikeun produk berprestasi tinggi anu dirancang pikeun nyayogikeun kinerja anu konsisten sareng dipercaya dina waktos anu panjang. Cai mibanda résistansi panas super alus tur uniformity termal, purity tinggi, résistansi erosi, sahingga solusi sampurna pikeun aplikasi processing wafer.

Kirim surélék ka kami Unduh salaku PDF

Rincian produk

Tag produk

SiC palapis grafit MOCVD Wafer operator / susceptor

Sadaya susceptor kami didamel tina grafit isostatik kakuatan tinggi. Mangpaat tina purity luhur grafit urang - dimekarkeun utamana pikeun prosés nangtang kawas epitaxy, tumuwuhna kristal, implantation ion jeung plasma etching, kitu ogé pikeun produksi chip LED.

Keunggulan produk kami :

1. lalawanan oksidasi suhu luhur nepi ka 1700 ℃.
2. purity tinggi na uniformity termal
3. Alus lalawanan korosi: asam, alkali, uyah jeung réagen organik.
4. karasa High, beungeut kompak, partikel rupa.
5. hirup layanan leuwih panjang sarta leuwih awét

CVD SiC薄膜基本物理性能 Sipat fisik dasar CVD SiCpalapis
性质 / Harta	典型数值 / Niley has
晶体结构 / Struktur Kristal	Fase β FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Kapadetan	3,21 g/cm³
硬度 / Teu karasa	2500 维氏硬度（500g beban）
晶粒大小 / Ukuran Gandum	2~10μm
纯度 / Kamurnian Kimia	99.99995%
热容 / Kapasitas panas	640 J·kg^-1· K^-1
升华温度 / Suhu sublimation	2700 ℃
抗弯强度 / Kakuatan Flexural	415 MPa RT 4-titik
杨氏模量 / Modulus ngora	430 Gpa 4pt ngalipet, 1300 ℃
导热系数 / TérmalKonduktivitas	300W·m^-1· K^-1
热膨胀系数 / Ékspansi Termal (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1

VET Energy mangrupikeun produsén nyata produk grafit sareng silikon karbida anu disesuaikan sareng palapis anu béda sapertos palapis SiC, palapis TaC, palapis karbon kaca, palapis karbon pirolitik, sareng sajabana, tiasa nyayogikeun rupa-rupa bagian anu disesuaikan pikeun industri semikonduktor sareng fotovoltaik.

Tim téknis kami asalna ti lembaga panalungtikan domestik luhur, tiasa nyayogikeun solusi bahan anu langkung profésional pikeun anjeun.

Kami terus-terusan ngembangkeun prosés canggih pikeun nyayogikeun bahan anu langkung maju, sareng parantos nyiptakeun téknologi anu dipaténkeun éksklusif, anu tiasa ngajantenkeun beungkeutan antara palapis sareng substrat langkung ketat sareng kirang rawan detachment.

Warmly ngabagéakeun anjeun nganjang ka pabrik urang, hayu urang sawala salajengna!