SiC coating / coated grafit substrat / baki pikeun semikonduktor

Katerangan pondok:

VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor pikeun Epitaxial Growth mangrupikeun produk berprestasi tinggi anu dirancang pikeun nyayogikeun kinerja anu konsisten sareng dipercaya dina waktos anu panjang. Cai mibanda résistansi panas super alus tur uniformity termal, purity tinggi, résistansi erosi, sahingga solusi sampurna pikeun aplikasi processing wafer.


Rincian produk

Tag produk

palapis SiC / coated of grafit susceptor pikeun Semiconductor
 
TheSiC coated grafit substratmangrupakeun solusi kacida awét sarta efisien dirancang pikeun minuhan tungtutan rigorous industri processing semikonduktor. Nampilkeun lapisan kamurnian anu luhurpalapis silikon karbida (SiC)., substrat ieu nganteurkeun stabilitas termal luar biasa, résistansi oksidasi, sareng umur jasa anu berkepanjangan, sahingga idéal pikeun aplikasi dina prosés MOCVD, operator wafer grafit, sareng lingkungan suhu luhur anu sanés.

 Fitur: 
· Alus Résistansi Shock Termal
· Résistansi Shock Fisik anu saé
· Résistansi Kimia Alus
· Purity Super High
· Kasadiaan dina Wangun Komplek
· Bisa dipaké dina Atmosfir Oksidasi

Aplikasi:

3

Keunggulan dan Keunggulan Produk :

1. Résistansi Termal punjul:Kalayan kamurnian anu luhurpalapis SiC, substrat tahan hawa ekstrim, mastikeun kinerja konsisten dina nungtut lingkungan kayaning epitaxy jeung fabrikasi semikonduktor.

2. Durability ditingkatkeun:Komponén grafit anu dilapis SiC dirancang pikeun nolak korosi sareng oksidasi kimiawi, ningkatkeun umur substrat dibandingkeun sareng substrat grafit standar.

3. Vitreous coated grafit:Struktur vitreous unik tinapalapis SiCnyadiakeun karasa permukaan alus teuing, ngaminimalkeun maké jeung cimata salila ngolah-suhu luhur.

4. High Purity SiC palapis:Substrat kami mastikeun kontaminasi minimal dina prosés semikonduktor sénsitip, nawiskeun réliabilitas pikeun industri anu peryogi kamurnian bahan anu ketat.

5. Aplikasi pasar lega:TheSiC coated grafit susceptorpasar terus tumuwuh sakumaha paménta pikeun produk coated SiC canggih dina manufaktur semikonduktor naek, positioning substrat ieu salaku pamuter konci duanana dina pasar carrier wafer grafit jeung silikon carbide coated grafit trays pasar.

Sipat has tina bahan dasar grafit:

Kapadetan semu: 1,85 g/cm3
Résistansi listrik: 11 μΩm
Kakuatan lentur: 49 MPa (500kgf/cm2)
Teu karasa Shore: 58
lebu: <5ppm
Konduktivitas termal: 116 W/mK (100 kkal/mhr- ℃)

 

CVD SiC薄膜基本物理性能

Sipat fisik dasar CVD SiCpalapis

性质 / Harta

典型数值 / Nilai Biasa

晶体结构 / Struktur Kristal

FCC β phase 多晶,主要为(111)取向

密度 / Kapadetan

3,21 g/cm³

硬度 / Teu karasa

2500 维氏硬度(500g beban)

晶粒大小 / Ukuran Grain

2~10μm

纯度 / Kemurnian Kimia

99.99995%

热容 / Kapasitas Panas

640 J·kg-1· K-1

升华温度 / Suhu Sublimasi

2700 ℃

抗弯强度 / Kakuatan Flexural

415 MPa RT 4-titik

杨氏模量 / Young's Modulus

430 Gpa 4pt ngalipet, 1300 ℃

导热系数 / Konduktivitas Termal

300W·m-1· K-1

热膨胀系数 / Ékspansi Termal (CTE)

4,5 × 10-6K-1

1

2

 

 

VET Energy mangrupikeun produsén nyata produk grafit sareng silikon karbida anu khusus sareng palapis anu béda sapertos palapis SiC, palapis TaC, palapis karbon kaca, palapis karbon pirolitik, sareng sajabana, tiasa nyayogikeun sababaraha bagian anu disesuaikan pikeun industri semikonduktor sareng fotovoltaik.

Tim téknis kami asalna ti lembaga panalungtikan domestik luhur, tiasa nyayogikeun solusi bahan anu langkung profésional pikeun anjeun.

Kami terus-terusan ngembangkeun prosés canggih pikeun nyayogikeun bahan anu langkung maju, sareng parantos nyiptakeun téknologi anu dipaténkeun éksklusif, anu tiasa ngajantenkeun beungkeutan antara palapis sareng substrat langkung ketat sareng kirang rawan detachment.

Warmly ngabagéakeun anjeun nganjang ka pabrik urang, hayu urang sawala salajengna!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • saméméhna:
  • Teras:

  • Chat Online WhatsApp!