SiC coating / coated grafit substrat / baki pikeun semikonduktor

Katerangan pondok:

VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor pikeun Epitaxial Growth mangrupikeun produk berprestasi tinggi anu dirancang pikeun nyayogikeun kinerja anu konsisten sareng dipercaya dina waktos anu panjang.Cai mibanda résistansi panas super alus tur uniformity termal, purity tinggi, résistansi erosi, sahingga solusi sampurna pikeun aplikasi processing wafer.


Rincian produk

Tag produk

palapis SiC / coated of grafit susceptor pikeun Semiconductor
 
SiC Coated Graphite Susceptor mangrupikeun komponén konci anu dianggo dina sababaraha prosés manufaktur semikonduktor.Kami nganggo téknologi anu dipaténkeun pikeun ngadamel pamawa karbida silikon kalayan kamurnian anu luhur pisan, kaseragaman palapis anu saé sareng umur jasa anu saé, ogé résistansi kimiawi anu luhur sareng sipat stabilitas termal.

 Fitur: 
· Alus Résistansi Shock Termal
· Résistansi Shock Fisik anu saé
· Résistansi Kimia Alus
· Purity Super High
· Kasadiaan dina Wangun Komplek
· Bisa dipaké dina Atmosfir Oksidasi

Aplikasi:

3

Sipat has tina bahan dasar grafit:

Kapadetan semu: 1,85 g/cm3
Résistansi listrik: 11 μΩm
Kakuatan lentur: 49 MPa (500kgf/cm2)
Karasa pantai: 58
lebu: <5ppm
Konduktivitas termal: 116 W/mK (100 kcal/mhr- ℃)

 

CVD SiC薄膜基本物理性能

Sipat fisik dasar CVD SiCpalapis

性质 / Harta

典型数值 / Nilai Biasa

晶体结构 / Struktur Kristal

FCC β phase 多晶,主要为(111)取向

密度 / Kapadetan

3,21 g/cm³

硬度 / Teu karasa

2500 维氏硬度(500g beban)

晶粒大小 / Ukuran Grain

2~10μm

纯度 / Kemurnian Kimia

99.99995%

热容 / Kapasitas Panas

640 J·kg-1· K-1

升华温度 / Suhu Sublimasi

2700 ℃

抗弯强度 / Kakuatan Flexural

415 MPa RT 4-titik

杨氏模量 / Young's Modulus

430 Gpa 4pt ngalipet, 1300 ℃

导热系数 / Konduktivitas Termal

300W·m-1· K-1

热膨胀系数 / Ékspansi Termal (CTE)

4,5 × 10-6K-1

1

2

 

VET Energy mangrupikeun produsén nyata produk grafit sareng silikon karbida anu khusus sareng palapis anu béda sapertos palapis SiC, palapis TaC, palapis karbon kaca, palapis karbon pirolitik, sareng sajabana, tiasa nyayogikeun sababaraha bagian anu disesuaikan pikeun industri semikonduktor sareng fotovoltaik.

Tim téknis kami asalna ti lembaga panalungtikan domestik luhur, tiasa nyayogikeun solusi bahan anu langkung profésional pikeun anjeun.

Kami terus-terusan ngembangkeun prosés canggih pikeun nyayogikeun bahan anu langkung maju, sareng parantos nyiptakeun téknologi anu dipaténkeun éksklusif, anu tiasa ngajantenkeun beungkeutan antara palapis sareng substrat langkung ketat sareng kirang rawan detachment.

Warmly ngabagéakeun anjeun nganjang ka pabrik urang, hayu urang sawala salajengna!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • saméméhna:
  • Teras:

  • Chat Online WhatsApp!