PECVD Loading Tray Deposition Graphite Tray

Tlhaloso e Khutšoanyane:

PECVD Loading Tray ea VET Energy e etselitsoe ho fana ka ts'ireletso le ts'ehetso bakeng sa li-wafers nakong ea deposition, ho ntlafatsa botsitso le boleng ba ts'ebetso ea deposition. Ka ho hanyetsa mocheso o babatsehang, Graphite Tray e thusa ho boloka tikoloho e laoloang ka hare ho likamore tsa PECVD, ho fokotsa kotsi ea ho silafala le ho etsa bonnete ba hore ts'ebetso e phahameng ea ts'ebetso e sebetsa hantle.

Re romelle lengolo-tsoibila Khoasolla joalo ka PDF

Lintlha tsa Sehlahisoa

Li-tag tsa Sehlahisoa

VET Energy PECVD loading tray ke sejari se nepahetseng hantle se etselitsoeng tšebetso ea PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition). Terei ena ea boleng bo holimo ea graphite e entsoe ka lisebelisoa tsa graphite tsa boleng bo holimo. E na le khanyetso e ntle ea mocheso o phahameng, khanyetso ea kutu, botsitso ba sebopeho le litšobotsi tse ling. E ka fana ka sethala se tsitsitseng sa sephethephethe bakeng sa ts'ebetso ea PECVD le ho netefatsa ho ts'oana le ho bata ha filimi ea deposition.

VET Energy PECVD loading trays li sebelisoa haholo ho semiconductor, photovoltaic, LED le masimo a mang. Ka mohlala:

▪ Semiconductor: Mokhoa oa PECVD oa lisebelisoa tsa semiconductor tse kang li-wafers tsa silicon le li-epitaxial wafers.

▪ Photovoltaic: Mokhoa oa PECVD bakeng sa lifilimi tse tšesaane tsa lisele tsa letsatsi.

▪ LED: Ts'ebetso ea PECVD bakeng sa lisebelisoa tsa LED.

Melemo ea Sehlahisoa

▪Ntlafatsa boleng ba filimi:Etsa bonnete ba hore filimi e kenngoa ka mokhoa o ts'oanang le ho ntlafatsa boleng ba filimi.

▪Eketsa bophelo ba lisebelisoa:Ho hanyetsa kutu e ntle haholo, ho lelefatsa bophelo ba ts'ebeletso ea lisebelisoa tsa PECVD.

▪Fokotsa litšenyehelo tsa tlhahiso:Literene tsa boleng bo holimo tsa graphite li ka fokotsa sekhahla sa maqeba le ho fokotsa litšenyehelo tsa tlhahiso.

Lintho tsa graphite tse tsoang ho SGL:

Paramethara e tloaelehileng: R6510
Index	Tekanyetso ea teko	Boleng	Yuniti
Karolelano ea boholo ba lijo-thollo	ISO 13320	10	μm
Boima ba bongata	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Porosity e bulehileng	DIN66133	10	%
Boholo ba pore e mahareng	DIN66133	1.8	μm
Permeability	DIN 51935	0.06	cm²/s
Rockwell hardness HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Resistivity e khethehileng ea motlakase	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Matla a flexural	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Matla a hatellang	DIN 51910	130	MPa
Module oa bacha	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Katoloso ea mocheso (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Thermal conductivity (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

E etselitsoe ka ho khetheha bakeng sa tlhahiso ea lisele tsa letsatsi tse sebetsang hantle haholo, tse tšehetsang ts'ebetso ea G12 ea boholo bo boholo. Moralo o ntlafalitsoeng oa sepalangoang o eketsa ts'ebetso haholo, o nolofalletsa litefiso tse phahameng tsa tlhahiso le litšenyehelo tse tlase tsa tlhahiso.

Ntho	Mofuta	Nomoro ea sepalangoang
PEVCD Grephite sekepe - Letoto la 156	156-13 sekepe sa grephite	144
	156-19 sekepe sa grephite	216
	156-21 sekepe sa grephite	240
	156-23 sekepe sa graphite	308
PEVCD Grephite sekepe - Letoto la 125	125-15 sekepe sa grephite	196
	125-19 sekepe sa grephite	252
	125-21 sekepe sa grphite	280