Graphite Substrate Wafer Holder bakeng sa PECVD

Tlhaloso e Khutšoanyane:

VET Energy's Graphite Substrate Holder e etselitsoe ho boloka botsitso ba liphaephe le botsitso nakong eohle ea ts'ebetso ea PECVD, ho thibela tšilafalo le ho fokotsa kotsi ea tšenyo. Graphite Wafer Holder e fana ka sethala se sireletsehileng, se lekanang, se netefatsang hore li-wafers li pepesehetse plasma ka mokhoa o ts'oanang le oa boleng bo holimo. Ka conductivity ea eona e phahameng ea mocheso le matla a ikhethang, sets'oants'o sena se thusa ho ntlafatsa katleho ea ts'ebetso le ts'ebetso ea sehlahisoa.

Re romelle lengolo-tsoibila Khoasolla joalo ka PDF

Lintlha tsa Sehlahisoa

Li-tag tsa Sehlahisoa

VET Energy Graphite Substrate Wafer Holder ke sesebelisoa se nepahetseng hantle se etselitsoeng ts'ebetso ea PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Sebaka sena sa boleng bo holimo sa Graphite Substrate Holder se entsoe ka lisebelisoa tsa graphite tse phahameng haholo, tse nang le matla a phahameng a ho hanyetsa mocheso, ho hanyetsa kutu, botsitso ba sebopeho le litšobotsi tse ling. E ka fana ka sethala sa ts'ehetso se tsitsitseng bakeng sa ts'ebetso ea PECVD le ho netefatsa ho ts'oana le ho bata ha ho behoa ha filimi.

VET Energy PECVD e sebetsa tafoleng ea tšehetso ea graphite wafer e na le litšobotsi tse latelang:

▪Bohloeki bo phahameng:lintho tse litšila tse tlase haholo, qoba ho silafala ha filimi, netefatsa boleng ba filimi.

▪Boima bo phahameng:phahameng segokanyipalo, phahameng mechine matla, ka mamella mocheso phahameng le khatello e phahameng PECVD tikoloho.

▪Botsitso bo botle ba dimensional:phetoho e nyane ea dimensional ka mocheso o phahameng, ho netefatsa botsitso ba ts'ebetso.

▪Thermal conductivity e ntle haholo:ka katleho fetisetsa mocheso ho thibela sephaphatha overheating.

▪Khanyetso e matla ea kutu:e ka thibela khoholeho ea mobu ka likhase tse sa tšoaneng tse senyang le plasma.

▪Litšebeletso tse ikhethileng:litafole tsa tšehetso tsa graphite tsa boholo bo fapaneng le libopeho li ka etsoa ho latela litlhoko tsa bareki.

Melemo ea Sehlahisoa

▪Ntlafatsa boleng ba filimi:Etsa bonnete ba hore filimi e kenngoa ka mokhoa o ts'oanang le ho ntlafatsa boleng ba filimi.

▪Eketsa bophelo ba lisebelisoa:Ho hanyetsa kutu e ntle haholo, ho lelefatsa bophelo ba ts'ebeletso ea lisebelisoa tsa PECVD.

▪Fokotsa litšenyehelo tsa tlhahiso:Literene tsa boleng bo holimo tsa graphite li ka fokotsa sekhahla sa maqeba le ho fokotsa litšenyehelo tsa tlhahiso.

Lintho tsa graphite tse tsoang ho SGL:

Paramethara e tloaelehileng: R6510
Index	Tekanyetso ea teko	Boleng	Yuniti
Karolelano ea boholo ba lijo-thollo	ISO 13320	10	μm
Boima ba bongata	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Porosity e bulehileng	DIN66133	10	%
Boholo ba pore e mahareng	DIN66133	1.8	μm
Permeability	DIN 51935	0.06	cm²/s
Rockwell hardness HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Resistivity e khethehileng ea motlakase	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Matla a flexural	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Matla a hatellang	DIN 51910	130	MPa
Module oa bacha	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Katoloso ea mocheso (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Thermal conductivity (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

E etselitsoe ka ho khetheha bakeng sa tlhahiso ea lisele tsa letsatsi tse sebetsang hantle haholo, tse tšehetsang ts'ebetso ea G12 ea boholo bo boholo. Moralo o ntlafalitsoeng oa sepalangoang o eketsa ts'ebetso haholo, o nolofalletsa litefiso tse phahameng tsa tlhahiso le litšenyehelo tse tlase tsa tlhahiso.

Ntho	Mofuta	Nomoro ea sepalangoang
PEVCD Grephite sekepe - Letoto la 156	156-13 sekepe sa grephite	144
	156-19 sekepe sa grephite	216
	156-21 sekepe sa grephite	240
	156-23 sekepe sa graphite	308
PEVCD Grephite sekepe - Letoto la 125	125-15 sekepe sa grephite	196
	125-19 sekepe sa grephite	252
	125-21 sekepe sa grphite	280