VET Energy graphite wafer boat ke sesebelisoa sa boleng bo holimo se etselitsoeng lits'ebetso tsa deposition ho semiconductor, photovoltaic le liindasteri tse ling. E entsoe ka lisebelisoa tse phahameng tsa graphite tse nang le bohloeki bo phahameng haholo, sehlahisoa sena se na le mocheso o phahameng oa ho hanyetsa, ho hanyetsa kutu, botsitso ba dimensional le litšobotsi tse ling, 'me se ka fana ka sethala se tsitsitseng sa thepa bakeng sa ts'ebetso ea deposition ho etsa bonnete ba ho lumellana le ho bata ha filimi e tšesaane. .
Seketsoana sa graphite sa PECVD se tsoang ho VET Energy se entsoe ka graphite ea isostatic e phahameng-hloeka, e nang le porosity e ka tlase ho 15% le bokaholimo ba Ra≤1.6μm. Botsitso bo phahameng ba boemo bo phahameng le conductivity ea mocheso li netefatsa hore filimi e kenngoa ka mokhoa o ts'oanang le ho ntlafatsa bokhoni ba lisele.
Lintho tsa graphite tse tsoang ho SGL:
Paramethara e tloaelehileng: R6510 | |||
Index | Tekanyetso ea teko | Boleng | Yuniti |
Karolelano ea boholo ba lijo-thollo | ISO 13320 | 10 | μm |
Boima ba bongata | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
Porosity e bulehileng | DIN66133 | 10 | % |
Boholo ba pore e mahareng | DIN66133 | 1.8 | μm |
Permeability | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
Rockwell hardness HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
Resistivity e khethehileng ea motlakase | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
Matla a flexural | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
Matla a hatellang | DIN 51910 | 130 | MPa |
Module oa bacha | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
Katoloso ea mocheso (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
Thermal conductivity (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
E etselitsoe ka ho khetheha bakeng sa tlhahiso ea lisele tsa letsatsi tse sebetsang hantle haholo, tse tšehetsang ts'ebetso ea G12 ea boholo bo boholo. Moralo o ntlafalitsoeng oa sepalangoang o eketsa ts'ebetso haholo, o nolofalletsa litefiso tse phahameng tsa tlhahiso le litšenyehelo tse tlase tsa tlhahiso.
Ntho | Mofuta | Nomoro ea sepalangoang |
PEVCD Grephite sekepe - Letoto la 156 | 156-13 sekepe sa grephite | 144 |
156-19 sekepe sa grephite | 216 | |
156-21 sekepe sa grephite | 240 | |
156-23 sekepe sa graphite | 308 | |
PEVCD Grephite sekepe - Letoto la 125 | 125-15 sekepe sa grephite | 196 |
125-19 sekepe sa grephite | 252 | |
125-21 sekepe sa grphite | 280 |