Matla a VETPECVD process graphite carrier ke boleng bo holimo bo ka sebelisoang bakeng sa ts'ebetso ea PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition). Sesebelisoa sena sa graphite se entsoe ka bohloeki bo phahameng, se nang le lisebelisoa tse phahameng tsa graphite, se nang le mocheso o phahameng o phahameng oa ho hanyetsa, ho hanyetsa kutu, botsitso ba sebopeho le litšobotsi tse ling, se ka fana ka sethala se tsitsitseng sa mochine bakeng sa ts'ebetso ea PECVD, ho netefatsa hore ho tšoana le ho bata ha filimi e tšesaane. deposition.
Bajari ba graphite bakeng sa ts'ebetso ea PECVD ba na le litšobotsi tse latelang:
▪ Bohloeki bo phahameng: litšila tse fokolang haholo, ho qoba ho silafala ha filimi le ho netefatsa boleng ba filimi.
▪ Boima bo phahameng: boima bo phahameng, matla a phahameng a mechine, a khona ho mamella mocheso o phahameng le khatello e phahameng ea tikoloho ea PECVD.
▪ Botsitso bo botle ba dimensional: phetoho e nyenyane ea dimensional mocheso o phahameng, ho netefatsa botsitso ba ts'ebetso.
▪ Thermal conductivity e ntle ka ho fetisisa: ho fetisa mocheso ka katleho ho thibela ho chesa ho feteletseng.
▪ Ho hanyetsa ho bola ho matla: ho khona ho hanela khoholeho ke likhase tse sa tšoaneng tse senyang le lero la mali.
▪ Litšebeletso tse ikhethileng: lijari tsa graphite tsa boholo bo fapaneng le libopeho tse fapaneng li ka etsoa ho latela litlhoko tsa bareki.
Lintho tsa graphite tse tsoang ho SGL:
Paramethara e tloaelehileng: R6510 | |||
Index | Tekanyetso ea teko | Boleng | Yuniti |
Karolelano ea boholo ba lijo-thollo | ISO 13320 | 10 | μm |
Boima ba bongata | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
Porosity e bulehileng | DIN66133 | 10 | % |
Boholo ba pore e mahareng | DIN66133 | 1.8 | μm |
Permeability | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
Rockwell hardness HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
Resistivity e khethehileng ea motlakase | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
Matla a flexural | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
Matla a hatellang | DIN 51910 | 130 | MPa |
Module oa bacha | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
Katoloso ea mocheso (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
Thermal conductivity (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
E etselitsoe ka ho khetheha bakeng sa tlhahiso ea lisele tsa letsatsi tse sebetsang hantle haholo, tse tšehetsang ts'ebetso ea G12 ea boholo bo boholo. Moralo o ntlafalitsoeng oa sepalangoang o eketsa ts'ebetso haholo, o nolofalletsa litefiso tse phahameng tsa tlhahiso le litšenyehelo tse tlase tsa tlhahiso.
Ntho | Mofuta | Nomoro ea sepalangoang |
PEVCD Grephite sekepe - Letoto la 156 | 156-13 sekepe sa grephite | 144 |
156-19 sekepe sa grephite | 216 | |
156-21 sekepe sa grephite | 240 | |
156-23 sekepe sa graphite | 308 | |
PEVCD Grephite sekepe - Letoto la 125 | 125-15 sekepe sa grephite | 196 |
125-19 sekepe sa grephite | 252 | |
125-21 sekepe sa grphite | 280 |