вет-цхина осигурава да сваки ДураблеВесло за руковање плочицама од силицијум карбидаима одличне перформансе и издржљивост. Ова лопатица за руковање плочицама од силицијум карбида користи напредне производне процесе како би осигурала да њена структурна стабилност и функционалност остану у окружењу високе температуре и хемијске корозије. Овај иновативни дизајн пружа одличну подршку за руковање полупроводничким плочицама, посебно за високопрецизне аутоматизоване операције.
СиЦ конзолно веслоје специјализована компонента која се користи у опреми за производњу полупроводника као што су пећи за оксидацију, дифузионе пећи и пећи за жарење, главна употреба је за утовар и истовар плочица, подржава и транспортује плочице током процеса високе температуре.
Заједничке структуреофСиЦcантилеверpаддле: конзолна конструкција, фиксирана на једном крају и слободна на другом, обично има раван дизајн налик на весло.
РадниpринциплеофСиЦcантилеверpаддле:
Конзолна лопатица се може померати горе-доле или напред-назад унутар коморе пећи, може се користити за померање облата из области утовара у области обраде, или из области обраде, подржавајући и стабилизујући плочице током обраде на високој температури.
Физичка својства рекристализованог силицијум карбида | |
Имовина | Типична вредност |
Радна температура (°Ц) | 1600°Ц (са кисеоником), 1700°Ц (редуцирајућа средина) |
Садржај СиЦ | > 99,96% |
Бесплатан садржај Си | < 0,1% |
Насипна густина | 2,60-2,70 г/цм3 |
Привидна порозност | < 16% |
Снага компресије | > 600 МПа |
Чврстоћа на хладно савијање | 80-90 МПа (20°Ц) |
Чврстоћа на топло савијање | 90-100 МПа (1400°Ц) |
Топлотна експанзија @1500°Ц | 4,70 10-6/°Ц |
Топлотна проводљивост @1200°Ц | 23 В/м•К |
Модул еластичности | 240 ГПа |
Отпорност на топлотни удар | Изузетно добро |