Тхе АдванцедСиЦ конзолно веслофор Вафер Процессинг креиран од стране вет-цхина пружа одлично решење за производњу полупроводника. Ово конзолно весло је направљено од СиЦ (силицијум карбида) материјала, а његова висока тврдоћа и отпорност на топлоту омогућавају му да одржи одличне перформансе у високим температурама и корозивним срединама. Дизајн конзолне лопатице омогућава поуздану подршку плочице током обраде, смањујући ризик од фрагментације и оштећења.
СиЦ конзолно веслоје специјализована компонента која се користи у опреми за производњу полупроводника као што су пећи за оксидацију, дифузионе пећи и пећи за жарење, главна употреба је за утовар и истовар плочица, подржава и транспортује плочице током процеса високе температуре.
Заједничке структуреофСиЦcантилеверpаддле: конзолна конструкција, фиксирана на једном крају и слободна на другом, обично има раван дизајн налик на весло.
ВЕТ Енерги користи рекристализоване силицијум карбидне материјале високе чистоће да гарантује квалитет.
Физичка својства рекристализованог силицијум карбида | |
Имовина | Типична вредност |
Радна температура (°Ц) | 1600°Ц (са кисеоником), 1700°Ц (редуцирајућа средина) |
Садржај СиЦ | > 99,96% |
Бесплатан садржај Си | < 0,1% |
Насипна густина | 2,60-2,70 г/цм3 |
Привидна порозност | < 16% |
Снага компресије | > 600МПа |
Чврстоћа на хладно савијање | 80-90 МПа (20°Ц) |
Чврстоћа на топло савијање | 90-100 МПа (1400°Ц) |
Топлотна експанзија @1500°Ц | 4,70 10-6/°Ц |
Топлотна проводљивост @1200°Ц | 23В/м•К |
Модул еластичности | 240 ГПа |
Отпорност на топлотни удар | Изузетно добро |
Предности напредне СиЦ конзолне лопатице ВЕТ Енерги-а за обраду плочица су:
-Стабилност на високој температури: може се користити у окружењима изнад 1600°Ц;
-Низак коефицијент термичке експанзије: одржава стабилност димензија, смањујући ризик од савијања плочице;
-Висока чистоћа: мањи ризик од контаминације металом;
- Хемијска инертност: отпоран на корозију, погодан за различите гасне средине;
-Висока чврстоћа и тврдоћа: Отпоран на хабање, дуг радни век;
-Добра топлотна проводљивост: помаже у равномерном загревању плочице.