грејач са керамичким премазом од силицијум карбида

Вет-КинаСилицијум карбидна керамикаЦоатинг је заштитни премаз високих перформанси направљен од изузетно тврдог и отпорног на хабањесилицијум карбид (СиЦ)материјал, који пружа одличну отпорност на хемијску корозију и стабилност на високим температурама. Ове карактеристике су кључне у производњи полупроводника, тјКерамички премаз од силицијум карбидасе широко користи у кључним компонентама опреме за производњу полупроводника.

Специфична улога Вет-КинеСилицијум карбидна керамикаПремаз у производњи полупроводника је следећи:

Повећајте издржљивост опреме:Керамички премаз од силицијум карбида Керамички премаз од силицијум карбида пружа одличну површинску заштиту опреме за производњу полупроводника са својом изузетно високом тврдоћом и отпорношћу на хабање. Нарочито у високотемпературним и високо корозивним процесним окружењима, као што су хемијско таложење паре (ЦВД) и нагризање плазмом, премаз може ефикасно спречити да се површина опреме оштети хемијском ерозијом или физичким хабањем, чиме се значајно продужава век трајања уређаја. опреме и смањење времена застоја узрокованог честим заменама и поправкама.

Побољшајте чистоћу процеса:У процесу производње полупроводника, ситна контаминација може изазвати дефекте производа. Хемијска инертност керамичког премаза од силицијум карбида омогућава му да остане стабилан у екстремним условима, спречавајући материјал да отпусти честице или нечистоће, чиме се обезбеђује еколошка чистоћа процеса. Ово је посебно важно за производне кораке који захтевају високу прецизност и високу чистоћу, као што су ПЕЦВД и јонска имплантација.

Оптимизујте управљање топлотом:У високотемпературној обради полупроводника, као што је брза термичка обрада (РТП) и процеси оксидације, висока топлотна проводљивост керамичког премаза од силицијум карбида омогућава равномерну дистрибуцију температуре унутар опреме. Ово помаже у смањењу топлотног напрезања и деформације материјала узрокованих температурним флуктуацијама, чиме се побољшава тачност и конзистентност производње производа.

Подржава сложена процесна окружења:У процесима који захтевају сложену контролу атмосфере, као што су процеси ИЦП јеткања и ПСС јеткања, стабилност и отпорност на оксидацију керамичког премаза од силицијум карбида осигуравају да опрема одржава стабилне перформансе у дуготрајном раду, смањујући ризик од деградације материјала или оштећења опреме због на промене животне средине.