Silicon carbide (SiC) o se mea fou faʻapipiʻi semiconductor. Silicon carbide e iai le va tele (pe tusa ma le 3 taimi silicon), maualuga le malosi o le fanua (e tusa ma le 10 taimi silicon), maualuga le vevela (pe a ma le 3 taimi silicon). O se mea taua o le isi augatupulaga semiconductor. SiC coatings o loʻo faʻaaogaina lautele i le semiconductor industry ma solar photovoltaics. Aemaise lava, o le susceptors faʻaaogaina i le tuputupu aʻe o le epitaxial o LED ma le epitaxy tioata tasi e manaʻomia le faʻaogaina o le SiC coating. Ona o le malosi agai i luga o LEDs i le moli ma faʻaalia alamanuia, ma le atinaʻeina malosi o le semiconductor alamanuia,SiC coating oloafa'amoemoe e matua lelei lava.
FA'ATA'IGA
Mama, SEM Structure, mafiafia auiliiliga oSiC fa'apipi'i
O le mama o SiC coatings i luga o le graphite e ala i le faʻaaogaina o le CVD e maualuga e 99.9995%. O lona fausaga o le fcc. O ata SiC o loʻo faʻapipiʻiina i luga o le graphite o le (111) faʻatulagaina e pei ona faʻaalia i le XRD data (Fig.1) e faʻaalia ai lona maualuga maualuga o le tioata. O le mafiafia o le ata SiC e matua tutusa lava e pei ona faʻaalia i le Ata 2.
Ata 2: toniga mafiafia o ata SiC SEM ma XRD o ata-SiC ata i luga ole kalafi
SEM faʻamatalaga o le CVD SiC ata manifinifi, o le tioata lapoa o le 2 ~ 1 Opm
O le fausaga tioata o le CVD SiC ata tifaga o se fausaga kupita faʻatatau i foliga, ma o le faʻalauteleina o ata tifaga e latalata ile 100%
Silicon carbide (SiC) ufiufifa'avae o le fa'avae sili lea mo le kasa tioata tasi ma le GaN epitaxy, o le vaega autu lea o le ogaumu epitaxy. O le fa'avae o se fa'aoga autu o le gaosiga mo monocrystalline silicon mo ta'aloga tu'ufa'atasi tetele. E maualuga le mama, maualuga le vevela tetee, corrosion tetee, lelei ea tightness ma isi uiga sili ona lelei.
Fa'aoga ma fa'aoga oloa
Ufiufi faavae graphite mo se tasi tioata silicon epitaxial tuputupu aʻe e talafeagai mo masini Aixtron, ma isi Ufiufi mafiafia: 90 ~ 150umO le lautele o le lua wafer e 55mm.
Taimi meli: Mati-14-2022