Muamua lava, e tatau ona tatou iloaPECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Plasma o le faʻamalosia o le gaioiga vevela o meaola mole. O le fetoaiga i le va oi latou o le a mafua ai ona ionized mole kesi, ma o le a avea mea o se fefiloi o sologa lelei ions, electrons ma vaega le faaituau e fegalegaleai ma isi.
O lo'o fa'atatauina o le fua faatatau o le leiloa o le malamalama i luga o le silicon surface e maualuga pe a ma le 35%. O le ata tifaga e mafai ona faʻaleleia atili ai le faʻaogaina o le malamalama o le la e le masini maa, lea e fesoasoani e faʻateleina ai le maualuga o le photogenerated ma faʻaleleia atili ai le suiga o le suiga. I le taimi lava e tasi, o le hydrogen i totonu o le ata tifaga pasiivates luga o le maa cell, faʻaitiitia le maualuga recombination fua faatatau o le emitter junction, faʻaitiitia le pogisa o loʻo i ai nei, faʻateleina le eletise eletise tatala, ma faʻaleleia le lelei o le liua o le photoelectric. O le fa'afefe vave o le vevela i le faagasologa o le mu e motusia ai nisi o sootaga Si-H ma le NH, ma o le H faʻasaʻolotoina e faʻamalosia atili ai le faʻaogaina o le maa.
Talu ai o mea fa'akolekone fa'akomepiuta-photovoltaic e mautinoa lava o lo'o i ai le tele o mea le mama ma fa'aletonu, o le la'ititi la'ititi o le olaga atoa ma le fa'asalalauina o le umi i totonu o le silicon e fa'aitiitia, e mafua ai le fa'aitiitia o le fa'aliliuga lelei o le maa. E mafai e le H ona tali atu i faaletonu poʻo le mama i totonu o le silicon, ma faʻafefe ai le malosi o le fusi i totonu o le fusi i totonu o le valence band poʻo le faʻaulu.
1. Mataupu Faavae o le PECVD
O le PECVD system o se fa'asologa o afi fa'aogainava'a graphite PECVD ma mea fa'aoso plasma maualuga. O le plasma generator e faʻapipiʻi saʻo i le ogatotonu o le ipu faʻapipiʻi e faʻaalia i lalo o le maualalo o le mamafa ma le maualuga o le vevela. O kasa fa'aaogaina o le silane SiH4 ma le ammonia NH3. O nei kasa e galue i luga o le silicon nitride o loʻo teuina i luga o le silicon wafer. E mafai ona maua fa'ailoga fa'asolosolo eseese e ala i le suia o le fua faatatau o le silane i le ammonia. I le taimi o le fa'agasologa o le tu'uina atu, e fa'atupuina se aofa'iga tele o hydrogen atoms ma hydrogen ions, e fa'apena lelei ai le fa'agasologa o le hydrogen o le wafer. I totonu o se masini gaogao ma le vevela o le 480 tikeri Celsius, o se vaega o le SixNy o loʻo ufiufi i luga o le pito i luga o le faʻamalama silikoni e ala i le faʻaogaina o leva'a graphite PECVD.
3SiH4+4NH3 → Si3N4+12H2
2. Si3N4
O le lanu o le Si3N4 ata tifaga e suia ma lona mafiafia. E masani lava, o le mafiafia lelei o le va o le 75 ma le 80 nm, lea e foliga mai e lanumoana uliuli. O le fa'ailoga fa'ailoga o le ata Si3N4 e sili ona lelei i le va o le 2.0 ma le 2.5. E masani ona fa'aaoga le 'ava e fua ai lona fa'asino igoa.
E sili ona lelei a'afiaga i luga o le eleele, lelei le fa'aogaina o le fa'aogaina o le fa'atinoga (fa'atusatusaga fa'asologa o le mafiafia), le fa'agasologa o le vevela (fa'aitiitia lelei tau), ma le fa'atupuina o H ion e pasivate le luga o le silicon wafer surface.
3. Matā'upu masani ile falefaigaluega fa'apipi'i
Ata mafiafia:
E ese le taimi o le tu'uina mo mafiafia ata tifaga eseese. E tatau ona fa'atupula'ia lelei pe fa'aitiitia le taimi e tu'u ai e tusa ai ma le lanu o le fa'alavalava. Afai e pa'epa'e le ata, e tatau ona fa'aitiitia le taimi e tu'u ai. Afai e mumu, e tatau ona faʻatuputeleina talafeagai. O vaʻa taʻitasi o ata tifaga e tatau ona faʻamaonia atoatoa, ma e le faʻatagaina oloa faʻaletonu e tafe atu i le isi gaioiga. Mo se faʻataʻitaʻiga, afai e le lelei le faʻapipiʻiina, e pei o lanu lanu ma faʻailoga vai, o le paʻepaʻe masani masani, eseesega lanu, ma paʻepaʻe i luga o le laina gaosiga e tatau ona filifilia i le taimi. O le paʻepaʻe luga e masani lava ona mafua mai i le mafiafia o le silicon nitride film, lea e mafai ona fetuutuunai e ala i le fetuunaʻi o le taimi o le tuʻuina o ata; o le ata eseese o lanu e mafua mai i le poloka o le ala kesi, le leakage paipa quartz, faʻaletonu microwave, ma isi; pa'epa'e e masani ona mafua mai i mea uliuli laiti i le faagasologa muamua. Mataʻituina o le faʻaalia, faʻailoga faʻasolosolo, ma isi, saogalemu o kasa faʻapitoa, ma isi.
Papa'e papa'e i luga:
O le PECVD o se faiga taua tele i sela o le la ma o se faailoga taua o le lelei o sela a le kamupani. Ole fa'agasologa ole PECVD e masani ona pisi, ma e mana'omia ona mata'ituina vaega ta'itasi o sela. E tele fa'apa'au o le ogaumu fa'apipi'i, ma o fa'agaau ta'itasi e masani ona i ai le selau o sela (fa'alagolago i meafaigaluega). A maeʻa ona suia le faʻasologa o faʻagasologa, e umi le taamilosaga faʻamaonia. Tekinolosi faʻapipiʻi o se tekinolosi e faʻapipiʻi taua tele e le alamanuia photovoltaic atoa. E mafai ona faʻaleleia le faʻaleleia o sela sola e ala i le faʻaleleia o tekonolosi faʻapipiʻi. I le lumana'i, e mafai ona avea le tekonolosi i luga o le la ma se lapo'a i le fa'ata'ita'iga lelei o sela la.
Taimi meli: Tes-23-2024