Fa'afefea ona fa'amama PECVD graphite va'a？| VET Malosiaga

1. Fa'afetai a'o le'i fa'amamāina

1) Pe ava'a graphite PECVD/ faʻaaogaina e sili atu nai lo le 100 i le 150 taimi, e manaʻomia e le tagata faʻapitoa ona siaki le tulaga faʻapipiʻi i le taimi. Afai ei ai se faʻafefe faʻalavelave, e manaʻomia ona faʻamamaina ma faʻamaonia. O le lanu masani faʻapipiʻi o le silicon wafer i le graphite vaʻa / ave e lanumoana. Afai o le wafer e le lanumoana, tele lanu, poʻo le eseesega lanu i le va o wafers e tele, o se faʻalavelave faʻalavelave, ma o le mafuaʻaga o le faʻalavelave e manaʻomia ona faʻamaonia i le taimi.
2) A maeʻa le faʻagasologa o tagata faigaluega suʻesuʻe le tulaga faʻapipiʻi o leva'a graphite PECVD/carrier, o le a latou fuafuaina pe tatau ona faʻamama le vaʻa graphite ma pe tatau ona sui le mata o le kata, ma o le vaʻa/vaa graphite e manaʻomia ona faʻamamaina o le a tuʻuina atu i le aufaigaluega meafaigaluega mo le faʻamamaina.

 

3) Ina ua uma levaa kalafi/ ua fa'aleagaina le va'ava'a, o le a ave'ese uma e le aufaipisinisi masi fa'asolo i totonu o le va'a graphite ma fa'aoga le CDA (ea fa'apipi'i) e fa'avasega ai vaega i totonu o le va'a.vaa kalafi. A maeʻa, o le a sii i luga e le aufaigaluega meafaigaluega i totonu o le tane acid ua uma ona saunia ma se vaega patino o le HF solution mo le faʻamamaina.

 

2. Fa'amamaina o va'a kalafi

E fautuaina le faʻaaogaina o se vaifofo o le 15-25% hydrofluoric acid mo le tolu taamilosaga o le faʻamamaina, taʻitasi mo le 4-5 itula, ma faʻafefe i lea taimi ma lea taimi le nitrogen i le taimi o le faʻafefe ma le faʻamamaina, faʻaopoopo pe tusa ma le afa itula o le faʻamamaina; fa'aaliga: e le fautuaina le fa'aogaina sa'o o le ea e fai ma puna kesi mo le fa'afu. A maeʻa le pikiina, fufulu ile vai mama mo le tusa ma le 10 itula, ma faʻamaonia ua maeʻa ona mama le vaʻa. A maeʻa ona faʻamamā, faʻamolemole siaki le pito i luga o le vaʻa, le faʻailoga o le kalafi ma le soʻotaga o vaʻa, ma isi vaega e vaʻai ai pe o iai ni toega nitride silicon. Ona faʻagogo lea e tusa ai ma manaʻoga.

3. Fa'amamaina puipuiga

A) Talu ai o le HF acid o se mea e sili ona pala ma e iai se faʻalavelave faʻapitoa, e lamatia i tagata faʻatautaia. O le mea lea, e tatau i tagata fa'atautaia i le fale fa'amamāina ona faia ni puipuiga mo le saogalemu ma pulea e se tagata fa'amaoni.

B) E fautuaina e faʻamama le vaʻa ma naʻo le faʻamamaina o le vaega o le graphite i le taimi o le faʻamamaina, ina ia mafai ai ona faʻamama atoatoa vaega faʻafesoʻotaʻi taʻitasi. I le taimi nei, o loʻo faʻaaogaina e le tele o fale gaosi oloa le faʻamamaina atoa, lea e faigofie, ae ona o le HF acid e faʻaleagaina i vaega sima, o le faʻamamaina atoa o le a faʻapuupuuina le ola tautua o vaega tutusa.