Čoln in podstavek za navpične stebre

Kratek opis:

Vertical Column Wafer Boat & Pedestal iz vet-china ponuja vrhunsko stabilnost in natančnost pri rokovanju z rezinami za proizvodnjo polprevodnikov. Z napredno zasnovo vet-china ta sistem zagotavlja optimalno poravnavo in varno zadrževanje, izboljša učinkovitost delovanja in zmanjša poškodbe rezin.


Podrobnosti o izdelku

Oznake izdelkov

vet-china predstavlja inovativen Vertical Column Wafer Boat & Pedestal, celovito rešitev za napredno obdelavo polprevodnikov. Ta sistem za ravnanje z rezinami, zasnovan z natančno natančnostjo, zagotavlja neprimerljivo stabilnost in poravnavo, kar je ključnega pomena za visoko učinkovita proizvodna okolja.

Vertical Column Wafer Boat & Pedestal je izdelan iz vrhunskih materialov, ki zagotavljajo toplotno stabilnost in odpornost proti kemični koroziji, zaradi česar je primeren za najzahtevnejše postopke izdelave polprevodnikov. Njegova edinstvena zasnova z navpičnim stebrom varno podpira rezine, s čimer se zmanjša tveganje neporavnanosti in morebitne poškodbe med transportom in obdelavo.

Z integracijo vet-china's Vertical Column Wafer Boat & Pedestal lahko proizvajalci polprevodnikov pričakujejo izboljšano pretočnost, zmanjšan čas izpadov in večji izkoristek izdelka. Ta sistem je združljiv z različnimi velikostmi in konfiguracijami rezin ter ponuja prilagodljivost in razširljivost za različne proizvodne potrebe.

Zavezanost vet-china k odličnosti zagotavlja, da vsak čoln in podstavek za navpične stebre oblatov izpolnjuje najvišje standarde kakovosti in zmogljivosti. Z izbiro te vrhunske rešitve vlagate v prihodnost pripravljen pristop k ravnanju z rezinami, ki poveča učinkovitost in zanesljivost v proizvodnji polprevodnikov.

Čoln in podstavek za navpične stebre

Lastnosti rekristaliziranega silicijevega karbida

Rekristaliziran silicijev karbid (R-SiC) je visoko zmogljiv material s trdoto, ki je takoj za diamantom in nastane pri visoki temperaturi nad 2000 ℃. Ohranja številne odlične lastnosti SiC, kot so visokotemperaturna trdnost, močna odpornost proti koroziji, odlična odpornost proti oksidaciji, dobra odpornost na toplotne šoke in tako naprej.

● Odlične mehanske lastnosti. Rekristaliziran silicijev karbid ima večjo trdnost in togost kot ogljikova vlakna, visoko odpornost na udarce, lahko dobro deluje v ekstremnih temperaturnih okoljih, lahko igra boljšo protiutežno zmogljivost v različnih situacijah. Poleg tega ima tudi dobro prožnost in se ne poškoduje zlahka z raztezanjem in upogibanjem, kar močno izboljša njegovo delovanje.

● Visoka odpornost proti koroziji. Rekristaliziran silicijev karbid ima visoko korozijsko odpornost na različne medije, lahko prepreči erozijo različnih korozivnih medijev, lahko ohrani svoje mehanske lastnosti dolgo časa, ima močan oprijem, tako da ima daljšo življenjsko dobo. Poleg tega ima tudi dobro toplotno stabilnost, lahko se prilagodi določenemu razponu temperaturnih sprememb, izboljša učinek uporabe.

● Sintranje se ne krči. Ker se proces sintranja ne krči, nobena zaostala napetost ne bo povzročila deformacije ali razpok izdelka, zato je mogoče pripraviti dele s kompleksnimi oblikami in visoko natančnostjo.

重结晶碳化硅物理特性

Fizikalne lastnosti prekristaliziranega silicijevega karbida

性质 / Lastnina

典型数值 / Tipična vrednost

使用温度/ Delovna temperatura (°C)

1600°C (s kisikom), 1700°C (redukcijsko okolje)

SiC含量/ Vsebnost SiC

> 99,96 %

自由Si含量/ Brezplačna vsebina Si

< 0,1 %

体积密度/Nasipna gostota

2,60-2,70 g/cm3

气孔率/ Navidezna poroznost

< 16 %

抗压强度/ Kompresijska trdnost

> 600MPa

常温抗弯强度/Hladna upogibna trdnost

80-90 MPa (20 °C)

高温抗弯强度Trdnost pri vročem upogibanju

90-100 MPa (1400 °C)

热膨胀系数/ Toplotna ekspanzija pri 1500°C

4,70 10-6/°C

导热系数/Toplotna prevodnost @1200°C

23W/m•K

杨氏模量/ Modul elastičnosti

240 GPa

抗热震性/ Odpornost na toplotni udar

Izjemno dobro

VET Energy je thepravi proizvajalec prilagojenih izdelkov iz grafita in silicijevega karbida s CVD prevleko,lahko dobavirazličnedeli po meri za polprevodniško in fotovoltaično industrijo. Ovaša tehnična ekipa prihaja iz vrhunskih domačih raziskovalnih ustanov, lahko zagotovi bolj profesionalne materialne rešitveza vas.

Nenehno razvijamo napredne postopke za zagotavljanje naprednejših materialov,inso razvili ekskluzivno patentirano tehnologijo, ki lahko naredi vez med premazom in podlago tesnejšo in manj nagnjeno k ločevanju.

KVB SiC薄膜基本物理性能

Osnovne fizikalne lastnosti CVD SiCpremazovanje

性质 / Lastnina

典型数值 / Tipična vrednost

晶体结构 / Kristalna struktura

FCC β faza多晶,主要为(111) 取向

密度 / Gostota

3,21 g/cm³

硬度 / Trdota

2500 维氏硬度(500g obremenitev)

晶粒大小 / Velikost zrna

2~10 μm

纯度 / Kemijska čistost

99,99995 %

热容 / Toplotna zmogljivost

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Temperatura sublimacije

2700 ℃

抗弯强度 / Upogibna trdnost

415 MPa RT 4-točkovno

杨氏模量 / Youngov modul

430 Gpa 4-točkovni upogib, 1300 ℃

导热系数 / TermalPrevodnost

300 W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Toplotna ekspanzija (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

Lepo vas vabimo, da obiščete našo tovarno, pogovorimo se naprej!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • Prejšnja:
  • Naprej:

  • Spletni klepet WhatsApp!